[发明专利]基板交换装置和基板处理装置以及基板检查装置

权利要求书

1.一种基板交换装置，该基板交换装置将从第一搬送部接收的第一基板交付至第二搬送部，并将从上述第二搬送部接收的第二基板交付至上述第一搬送部，其特征在于，

所述基板交换装置具备：

上述第二搬送部，其能够在与上述第一基板和上述第二基板的层叠方向正交的方向上进退；

支撑部件，其能够在上述基板的层叠方向上相对于上述第二搬送部进行相对移动；

第一保持部，其设置于上述支撑部件上，能够保持上述第一基板或上述第二基板中的一方；以及

第二保持部，其在上述支撑部件中从上述第一保持部离开预定距离而设置在上述基板的层叠方向上，能够保持上述第一基板或上述第二基板中的另一方，

在将上述第一保持部和上述第二保持部中的一方用于从上述第一搬送部接收上述第一基板时，使上述支撑部件和上述第二搬送部相对地移动，以将上述第一保持部和上述第二保持部中的另一方用于接收由上述第一搬送部搬送的上述第二基板。

2.根据权利要求1所述的基板交换装置，其特征在于，

所述基板交换装置具备使上述支撑部件在上述基板的层叠方向上移动的移动机构，通过上述支撑部件在上述基板的层叠方向上的移动，来将上述第一基板或上述第二基板移置到上述两个搬送部上。

3.根据权利要求2所述的基板交换装置，其特征在于，

将上述支撑部件可移动地构成为，对于上述第一搬送部，用上述第一保持部接收上述第一基板或上述第二基板中的一方并从上述第二保持部交付上述第一基板或上述第二基板中的另一方，对于上述第二搬送部，用上述第二保持部接收基板并从上述第一保持部交付基板。

4.根据权利要求1所述的基板交换装置，其特征在于，

上述第二搬送部具备使上述第一基板或上述第二基板旋转的旋转台。

5.根据权利要求1所述的基板交换装置，其特征在于，

上述第一搬送部是机械手臂，其从收纳上述第一基板的箱搬出上述第一基板并将该第一基板载置于上述第一保持部上，从上述第二保持部将完成预定处理后的上述第二基板搬入箱中。

6.根据权利要求2所述的基板交换装置，其特征在于，

由上述第一保持部及上述第二保持部保持上述第一基板或上述第二基板的载置面具有朝向该基板中心的倾斜。

7.根据权利要求1所述的基板交换装置，其特征在于，

所述基板交换装置具备使上述支撑部件在上述基板的层叠方向上移动的移动机构，上述移动机构构成为能够在与上述支撑部件的上下方向正交的二轴方向上移动。

8.根据权利要求1所述的基板交换装置，其特征在于，

所述基板交换装置具有将保持于上述第一保持部上的上述第一基板或上述第二基板的位置对准的对准器。

9.根据权利要求1所述的基板交换装置，其特征在于，

上述第一保持部及上述第二保持部在相对于上述两个搬送部进行相对移动的范围内配置在不与上述两个搬送部的每个干涉的位置。

10.一种基板处理装置，其特征在于，

所述基板处理装置具备权利要求1所述的基板交换装置。

11.一种基板检查装置，其特征在于，

所述基板检查装置具备权利要求1所述的基板交换装置。