[发明专利]用于光学特性补偿的温度不敏感型阵列波导光栅波分复用器及其制造方法

权利要求书

1.一种制造温度不敏感型阵列波导光栅装置的方法，该方法补偿了 在对阵列波导光栅芯片的光路长度进行切分时由基板切分宽度引起的光 路长度的减量而导致的光学特性改变，该方法包括以下步骤：

设计用于阵列波导光栅芯片的光掩模的步骤，在该阵列波导光栅芯 片中，在待切分的相同的波导部分上增设具有附加光路长度的波导部分；

在平面基板上制备阵列波导光栅芯片的步骤，在该阵列波导光栅芯 片中，在待切分的相同的波导部分上增设具有附加光路长度的波导部分；

对阵列波导光栅芯片的光路进行切分，并且移除与所述基板的切分 切口宽度相等的光路长度的步骤；

将阵列波导光栅芯片的光路再对准的步骤；以及

增设由生成长度的5％～200％确定的附加光路长度的步骤，该生成长 度是所述基板的所述切分切口宽度与两个对准的子芯片部件之间的间隙 之间的长度差。

2.一种制造温度不敏感型阵列波导光栅装置的方法，该方法补偿了 在对阵列波导光栅芯片的光路长度进行切分时由基板切分宽度引起的光 路长度的减量而导致的光学特性改变，该方法包括以下步骤：

设计用于阵列波导光栅芯片的光掩模的步骤，在该阵列波导光栅芯 片中，在从包括初始输入条形波导电路的待切分的初始波导部分偏移与 切分切口宽度相等的一定距离的位置处增设包括附加输入条形波导电路 的波导部分；

在平面基板上制备阵列波导光栅芯片的步骤，在该阵列波导光栅芯 片中，在从包括所述初始输入条形波导电路的待切分的所述初始波导部 分偏移与切分切口宽度相等的一定距离的位置处增设包括附加输入条形 波导电路的波导部分；

对阵列波导光栅芯片的光路进行切分的步骤；

通过使用位置从待切分的所述初始波导部分偏移与切分切口宽度相 等的一定距离的附加输入条形波导电路，将阵列波导光栅芯片的光路再 对准的步骤。

3.如权利要求2所述的制造温度不敏感型阵列波导光栅装置的方 法，该方法补偿了光学特性改变，包括以下步骤之一：

将阵列波导光栅芯片的输入波导中的一部分切分的步骤；

将阵列波导光栅芯片的输入平板波导中的一部分切分的步骤；

将阵列波导光栅芯片的输入条形波导电路与输入平板波导之间的界 面中的一部分切分的步骤；

将阵列波导光栅芯片的输入平板波导与阵列波导之间的界面中的一 部分切分的步骤；或者

将阵列波导光栅芯片的阵列波导中的一部分切分的步骤。

4.如权利要求2所述的制造温度不敏感型阵列波导光栅装置的方 法，该方法补偿了光学特性改变，包括以下步骤：

在对所述阵列波导光栅芯片切分之前将输出光纤或输出光纤阵列附 接到输出条形波导电路的步骤。

5.如权利要求2所述的制造温度不敏感型阵列波导光栅装置的方 法，该方法补偿了光学特性改变，包括以下步骤：

在对所述阵列波导光栅芯片切分之前通过使用初始输入条形波导电 路(1a)检验阵列波导光栅芯片的光学特性的步骤；

将输入纤维或输入纤维阵列对准并附接到从初始输入条形波导电路 (1a)的位置移位的附加输入条形波导电路(1b)和输出条形波导电路 (2)的步骤。