[发明专利]用于为电子柱维持不同真空度的装置

权利要求书

1.一种为电子柱维持不同真空度的装置，该装置用于将电子柱和样品保持在不同的真空度下，所述电子柱包括电子发射器、透镜部件和用于固定所述电子发射器和所述透镜部件的壳体，所述装置包括：

柱壳体连接部，所述柱壳体连接部连接到所述壳体以隔离真空；

中空部，所述中空部通过所述装置的中心部分限定，以允许从所述电子柱发射的电子束通过该中空部；以及

真空隔离部，所述真空隔离部具有用于真空连接的垫圈的结构，

其中，通过利用所述中空部，将所述装置的两侧之间的真空度差保持为不小于10¹托。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述壳体和所述用于维持不同真空度的装置相互整体地形成。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述壳体和所述用于维持不同真空度的装置使用橡胶环相互连接。

4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述柱壳体连接部和所述真空隔离部是能够彼此相互分开的。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的装置，其中，所述中空部包括薄膜，所述薄膜具有微米级的厚度，并用于保持不同的真空度。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的装置，其中，设置至少两个柱壳体连接部，使得能够安装至少两个电子柱。

7.一种电子柱系统，该电子柱系统利用根据权利要求1至6中任一项所述的用于维持不同真空度的装置来维持电子柱室和样品室之间的真空度差。

8.根据权利要求7所述的系统，其中，所述电子柱室放置在所述样品室中。

9.根据权利要求7或8所述的系统，其中，在所述用于维持不同真空度的装置中设置至少两个柱壳体连接部，使得能够安装与各个柱壳体连接部相对应的多个电子柱。 

10.一种电子柱系统，该电子柱系统利用为电子柱维持不同真空度的装置来维持电子柱室和样品室之间的真空度差，所述装置包括：柱壳体连接部，所述柱壳体连接部连接到所述壳体以隔离真空；中空部，所述中空部通过所述装置的中心部分限定，以允许从所述电子柱发射的电子束通过该中空部；和真空隔离部，所述真空隔离部具有用于真空连接的垫圈的结构，

所述电子柱包括电子发射器、透镜部件和用于固定所述电子发射器和所述透镜部件的壳体，

其中，通过利用最后定位在发射电子束所沿的路径中的透镜电极层的孔口将所述装置的两侧之间的真空度差保持为不小于10¹托。

11.根据权利要求10所述的系统，其中，所述电子柱室放置在所述样品室中。

12.根据权利要求10所述的系统，其中，所述壳体和所述用于维持不同真空度的装置相互整体地形成。

13.根据权利要求10所述的系统，其中，所述柱壳体连接部和所述真空隔离部是能够彼此相互分开的。

14.根据权利要求10至13中任一项所述的系统，其中，在所述用于维持不同真空度的装置中设置至少两个柱壳体连接部，使得能够安装与各个柱壳体连接部相对应的多个电子柱。