[发明专利]具有减小横截面尺寸和/或减小光轴畸变的波导激光器

权利要求书

1.一种波导激光器包括：

电极，包括沉积在绝缘载体材料上的基本金属层，以及

其中，所述电极沿其长度方向设置有基本平行的细长相对侧边，每个所述侧边在所述电极的RF耦合区包括至少一个间隙和/或切口，使得RF能量通过所述电极耦合，而无需横穿所述绝缘载体材料。

2.如权利要求1所述波导激光器，其中，所述间隙和/或切口对称布置在所述电极的相对侧边上。

3.如权利要求1所述波导激光器，其中，所述间隙和/或切口的形状基本是半圆形。

4.如权利要求1所述波导激光器，其中，所述RF耦合区基本设置在所述电极的中间。

5.如权利要求1所述波导激光器，其中，所述基本金属层由银、金、铜和铝中的一种或多种组成。

6.如权利要求1所述波导激光器，其中，所述绝缘载体材料包括陶瓷。

7.如权利要求1所述波导激光器，其中，所述基本金属层的厚度从大约0.001到0.05英寸，和/或所述绝缘载体材料的厚度从大约0.01到0.5英寸。

8.如权利要求1所述波导激光器，其中，所述激光器包括另外的电极，而所述波导被放置在电极之间，而且其中，所述激光器是一种RF放电激光器。

9.一种气体放电激光器，包括：

真空容器，包括连接到至少其一端的光学元件，所述真空容器包括基本邻接的第一室和第二室，

其中，所述第一室是容纳放电区的放电室，而所述第二室至少是气体镇流室，而且

其中，布置所述第一室和所述第二室，使得所述放电区产生的热量从所述第一室和所述第二室流出，从而减少所述激光器运行过程中光学元件的热变形。

10.如权利要求9所述激光器，其中，所述第一放电室和所述第二放电室关于隔开所述第一放电室和所述第二放电室的中间平面基本上对称放置。

11.如权利要求9所述激光器，其中，所述第二室是非旋光的。

12.如权利要求9所述激光器，其中，所述第二室也是放电室。

13.如权利要求9所述激光器，其中，所述光学元件是输出耦合器。

14.一种气体放电激光器，包括：

顶电极，包括沉积在绝缘载体上的金属层，并且其中所述顶电极的形状为大致细长的，具有基本平行的细长侧边，所述侧边中一个或两个在RF耦合区至少包含一个切口和/或间隙，使得RF能量通过所述电极耦合，而无需穿过所述绝缘载体；并且

真空容器，包含连接到至少其一端的光学元件，所述真空容器包括基本邻接的第一室和第二室，

其中，所述第一室是容纳放电区的放电室，

其中，所述第二室至少是气体镇流室，并且

其中，安排所述第一室和所述第二室，使得所述放电区产生的热量从所述第一室和所述第二室流出，从而减少所述激光器运行过程中所述光学元件的热变形。

15.如权利要求14所述激光器，其中，所述切口和/或间隙对称放置在所述顶电极的相对侧边上。

16.如权利要求15所述激光器，其中，所述金属层包括银、金、铜和铝中的一种或多种，并且其中，所述绝缘载体包括陶瓷。

17.如权利要求14所述激光器，其中，所述第一放电室和所述第二放电室关于隔开所述第一放电室和所述第二放电室的中间平面基本上对称放置。

18.如权利要求14所述激光器，其中，所述第二室是非旋光的。

19.如权利要求14所述激光器，其中，所述第二室也是放电室。

20.如权利要求14所述激光器，其中，所述光学元件是输出耦合器。