[发明专利]响应于多刺激的用于微流体的致动器元件

权利要求书

1、一种微流体系统，包括：

—至少一个微通道(62)，其具有带内侧(61)的壁(14)，

—多个附着于所述壁(14)的所述内侧(61)的纤毛致动器元件(71)， 所述纤毛致动器元件(71)当未接触水时具有原始形状，

—用于向所述多个纤毛致动器元件(71)施加刺激，从而引起其形状 从初始形状改变至目标形状的装置，

其中，所述纤毛致动器元件(71)适于通过将其原始形状改变至初始 形状而响应特定液体的存在。

2、根据权利要求1所述的微流体系统，其中，所述特定液体是水。

3、根据权利要求1或2中任意一项所述的微流体系统，其中，对存在 所述特定液体的响应是所述纤毛致动器元件(71)的形状的弯曲。

4、根据权利要求1至3中任意一项所述的微流体系统，其中，所述多 个纤毛致动器元件是聚合物致动器元件(71)。

5、根据权利要求4所述的微流体系统，其中，所述聚合物致动器元件 (71)包括聚合物MEMS。

6、根据权利要求5所述的微流体系统，其中，所述聚合物致动器元件 (71)包括至少下列之一：

—LC聚合物网络材料和/或

—在所述致动器中使用的材料厚度上具有极性梯度(44)和/或

—两层结构，其中，在所述特定液体中一层比另一层展开得更多。

7、根据权利要求1至6中任意一项所述的微流体系统，其中，用于向 所述多个纤毛致动器元件(71)施加刺激的所述装置是电场发生装置或磁 场发生装置中之一。

8、根据权利要求7所述的微流体系统，其中，用于向所述纤毛致动器 元件(71)施加刺激的所述装置是磁场发生装置。

9、根据权利要求8所述的微流体系统，其中，所述纤毛致动器元件(71) 还包括均匀连续磁层(72)、图案化的连续磁层或磁性颗粒(81)中之一。

10、根据权利要求7所述的微流体系统，其中，用于向所述纤毛致动 器元件(71)施加刺激的所述装置是电场发生装置。

11、根据权利要求10所述的微流体系统，其中，所述纤毛致动器元件 (71)还包括电极(11)。

12、根据权利要求1至10中任意一项所述的微流体系统，其中，将所 述多个纤毛致动器元件(71)布置成第一和第二行，所述第一行致动器元 件(71)位于所述壁(14)的所述内侧(61)的第一位置，而所述第二行 致动器元件(71)位于壁(14)的所述内侧(61)的第二位置，所述第一 位置和所述第二位置基本彼此相对。

13、根据权利要求1至10中任意一项所述的微流体系统，其中，将所 述多个纤毛致动器元件(71)布置成多行纤毛致动器元件(71)，其布置以 形成二维阵列。

14、根据权利要求1至10中任意一项所述的微流体系统，其中，所述 多个纤毛致动器元件(71)随机布置在所述壁(14)的所述内侧(16)上。

15、一种用于制造包括至少一个微通道(62)的微流体系统的方法， 所述方法包括：

—在所述至少一个微通道(62)的壁(14)的内侧(62)上提供多个 纤毛致动器元件(71)，所述致动器元件(71)在未接触液体时具有原始形 状，以及

—提供用于向所述多个纤毛致动器元件(71)施加刺激，从而使其形 状从初始形状改变至目标形状的装置，

其中，所述多个纤毛致动器元件(71)适于通过将其原始形状改变至 初始形状而响应特定液体的存在。