[发明专利]可调光学活动元件

权利要求书

1.光学活动元件(1，20，21)，其包括：

a.由可变形材料制成并且机械地互连至第一和第二驱动板(2，3)的中间层(4)，驱动板(2，3)布置为在中间层(4)的相对侧面上彼此相对并且局部地覆盖中间层(4)以使得中间层(4)由驱动板(2，3)带来的局部压缩引起中间层(4)的厚度(B)在第一方向(x)上的局部降低；

b.其中至少一个由于中间层(4)的材料的泊松比而涉及中间层(4)在第二方向(y，z，dr)上的次级变形，从而次级变形引起光学活动区域(5)的光学行为的变化；其中

c.第一和第二驱动板(2，3)是第一和第二电极(2，3)，它们布置为使得在电压(V)施加第一和第二电极(2，3)之间时，第一和第二电极(2，3)由于库仑力(Fc)而互相吸引；其中

d.中间层(4)以预伸展的方式附接至保持装置(6)以使得中间层(4)在操作期间不会在平面(y，z)外变形；其中

e.中间层(4)没有被驱动板(2，3)覆盖的区域具有可调整的直径，这涉及中间层(4)由材料的泊松比在第一方向(x)上的压缩。

2.根据权利要求1的光学活动元件(1，20，21)，其特征在于：电极(2，3)的至少一个由碳黑构成。

3.根据权利要求1的光学活动元件(1，20，21)，其特征在于：保持装置(6)具有中间层(4)布置于其中的圆形或矩形开口。 

4.根据权利要求1的光学活动元件(1，20，21)，其特征在于：电极(2，3)与光学活动区域(5)侧向地布置。

5.根据权利要求1的光学活动元件(1，20，21)，其特征在于：中间层(4)具有100nm至150μm范围内的厚度(B)。

6.根据权利要求1的光学活动元件(1，20，21)，其特征在于：中间层(4)具有10μm至500mm范围内的直径。

7.根据权利要求1的光学活动元件(1，20，21)，其特征在于：具有可调整直径的区域包括具有可调整光栅周期(d)的衍射光栅(5)。

8.根据权利要求7的光学活动元件(1，20，21)，其特征在于：衍射光栅(5)是菲涅耳透镜。

9.根据权利要求7的光学活动元件(1，20，21)，其特征在于：衍射光栅(5)由注射模塑或旋压涂覆或冲压的材料构成。

10.根据权利要求1的光学活动元件(1，20，21)，其特征在于：中间层(4)没有被驱动板覆盖的光学活动区域(5)是透明的并且具有可调整的厚度(B)，这涉及中间层(4)由材料的泊松比在第一方向上(x)的压缩。

11.根据权利要求1的光学活动元件(1，20，21)，其特征在于：光学活动区域(5)用作移相元件。 

12.根据权利要求1的光学活动元件(1，20，21)，其特征在于：光学活动区域(5)用作具有可变焦点的透镜。

13.根据权利要求12的光学活动元件(1，20，21)，其特征在于：透镜包括由两个薄片状区域(14)界定的透镜形腔室(16)。

14.根据权利要求13的光学活动元件(1，20，21)，其特征在于：透镜形腔室(16)填充有折射率高于周围环境的材料。

15.根据权利要求13的光学活动元件(1，20，21)，其特征在于：透镜形腔室(16)填充有液体。

16.根据权利要求7的光学活动元件(1，20，21)，其特征在于：衍射光栅(5)在中间层(4)的表面中实施，或者作为分开的元件附接至中间层(4)的表面。

17.一种显微镜，其包括至少一个根据前述权利要求之一的光学元件(1，20，21)。