[发明专利]光电倍增管和放射线检测装置有效
申请号: | 200780006884.X | 申请日: | 2007-02-27 |
公开(公告)号: | CN101390189A | 公开(公告)日: | 2009-03-18 |
发明(设计)人: | 下井英树;久嶋浩之 | 申请(专利权)人: | 滨松光子学株式会社 |
主分类号: | H01J43/22 | 分类号: | H01J43/22;G01T1/20 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 党晓林 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光电倍增管 放射线 检测 装置 | ||
技术领域
本发明涉及光电倍增管以及使用该光电倍增管的放射线检测装置。
背景技术
以往,公知有具有下述结构的光电倍增管:在通过倍增极对由设在真空容器的一侧的光电面发射出的电子进行放大并利用阳极对其进行检测的光电倍增管中,将分别连接在倍增极和阳极上的芯柱脚以从真空容器内导出至外部的方式装配在芯柱上。在这样的光电倍增管中,存在将各芯柱脚经由各锥状的密封玻璃分别装配在金属制的芯柱上的光电倍增管,和将各芯柱脚直接装配在由大型的锥状密封玻璃形成的芯柱上的光电倍增管(例如,参照专利文献1)。并且,存在下述例子:在以包围构成真空容器的另一端的芯柱的真空容器外侧面的方式配置的碟状的芯柱金属板中填充玻璃来形成芯柱(例如,参照专利文献2)。
专利文献1:日本特开平5-290793号公报(第3~4页,第1图、第7图)
专利文献2:日本特开2005-11592号公报(第3页,第1图)
但是,在专利文献1所述的光电倍增管中,对于将各芯柱脚经由各锥状密封玻璃分别装配在金属制的芯柱上的光电倍增管(图1所述的装置),需要与芯柱脚对应个数的密封玻璃,同时需要将这些各个密封玻璃与芯柱脚一起设置在芯柱的芯柱脚贯穿位置上的工序,因此存在部件数量和制造工序变多的问题。并且,对于将各芯柱脚直接装配在由大型的锥状密封玻璃形成的芯柱上的光电倍增管(图7所述的装置),一般通过基于密封玻璃的熔融的熔接进行锥状密封玻璃和各芯柱脚的接合,但是为了对芯柱的厚度高精度地进行控制,需要精密地对密封玻璃的容量进行调节。
并且,在专利文献2所述的光电倍增管中,由于芯柱的外侧面由金属板覆盖,因此例如在制造由玻璃构成的芯柱时,为了准确地对芯柱的厚度进行控制,需要更加精密地对填充的玻璃的容量进行调节。
发明内容
因此,本发明要提供一种在制造时能够简便地对芯柱的厚度进行控制,并能够获得大的用于电子检测的有效面积的光电倍增管和放射线检测装置。
为了达到上述目的,本发明的光电倍增管在具有构成一侧端部的受光面板和构成另一侧端部的芯柱的真空容器内,具备:光电面,其将通过受光面板入射的入射光转换为电子;电子倍增部,其使光电面发射出的电子倍增;以及电子检测部,其根据电子倍增部倍增后的电子送出输出信号,其特征在于,电子倍增部具有电极层叠部,该电极层叠部由包含倍增极的电极层叠多层而成,芯柱是具有下述部分的绝缘部件:与电极层叠部对置的第一面;与第一面对置的第二面;以及连接第一面和第二面的周缘部,另外,光电倍增管还具有:包围周缘部的管状部件;以及延伸部,其从管状部件沿着芯柱的第一面或第二面延伸,并形成有开口部,对电极层叠部提供电位的电位供给脚经由所述芯柱贯穿并固定在开口部中。
根据这样的结构,由于在芯柱周缘部配置有具有延伸部的管状部件,因此能够提高芯柱的强度。并且,在从管状部件沿着第一面或者第二面延伸的延伸部上,贯穿并固定有电位供给脚,能够有效地确保电子倍增部和电子检测部的有效面积。
在上述光电倍增管中,优选还具有:聚焦电极,其使从光电面发射出的电子集束到电极层叠部;以及聚焦电极脚,其与聚焦电极电连接,聚焦电极脚立设在延伸部上。
根据这样的结构,由于在延伸部上立设有支承聚焦电极的聚焦电极脚,因此能够有效地确保聚焦电极的有效面积。
在上述任一光电倍增管中,优选芯柱具有从开口部沿着电位供给脚隆起的上升部。
这样,通过在电位供给脚与芯柱的接合部分产生芯柱的上升,从而在制造时赋予构成芯柱的材料的逸出场所,容易对厚度进行控制。并且,由于真空容器的侧壁和电位供给脚之间的沿面距离变长,因此具有防止放电效果。由于能够这样对芯柱的厚度进行控制,因此能够使光电面和芯柱之间的距离稳定。
在上述任一光电倍增管中,优选所述开口部是贯通孔。
根据这样的结构,与开口部的形状是单纯的开口的情况相比,延伸部的刚性提高。由此,能够提高芯柱的强度。
在上述任一光电倍增管中,优选在芯柱中气密地设置有对真空容器进行排气的排气管,排气管具有相互配置在同轴上的外侧管和内侧管,外侧管的外周面熔接在芯柱上,外侧管的靠真空容器内部侧的端部和内侧管的靠真空容器内部侧的端部接合。
根据这样的结构,能够可靠地进行排气管和芯柱的接合。并且,能够使密封排气管时在排气管与芯柱的接合部产生的应力分散至内侧管和外侧管,并且能够改变内侧管和外侧管的材质,能够更可靠地进行密封。
能够在上述任一方面所述的光电倍增管的受光面板的外侧设置将放射线转换为光并输出的闪烁器,来构成放射线检测装置。
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