[发明专利]静电保持装置以及使用该装置的真空环境装置和接合装置

权利要求书

1.一种静电保持装置，其特征在于包括：

多个电极模块，具有保持面并将保持对象物静电保持在所述保持面上，

高电压发生部，设置于所述多个电极模块的每一者中，而使低电压变换为静电 保持所必需的规定高电压，和

连接器，连接到向所述高电压发生部供给低电压的低电压源；

所述高电压发生部是密封的。

2.根据权利要求1所述的静电保持装置，其特征在于所述高电压发生部包含 电压放大电路。

3.一种静电保持装置，其特征在于包括：

多个电极模块，具有保持面并将保持对象物静电保持在所述保持面上，

高电压发生部，设置于所述多个电极模块的每一者中，而使低电压变换为静电 保持所必需的规定高电压，和

控制所述高电压发生部的控制电压用的连接器；

所述高电压发生部是密封的，且具有升压电路，

在所述电极模块中还设有与所述升压电路相连接的电池，

所述电池与所述升压电路之间设有开关，该开关通过与所述连接器连接的控制 线可以从该静电保持装置的外部控制。

4.一种在内部设置有权利要求1或3所述的静电保持装置的真空环境装置。

5.一种接合装置，设置有工作台，该在工作台将需要接合的两个基板保持在 具备使内部成为减压气氛的配管的腔室内并被设置成在已对准的状态下基板面相 互之间可以沿基板面方向和交叉方向自如地相对移动该接合装置的特征在于具有 保持至少一个所述基板的、权利要求1或3所述的静电保持装置，该静电保持装置 可以从该静电保持装置自身的外部进行控制。