[发明专利]减小多个柱状电子束测试系统中的串扰的方法

权利要求书

1.一种用于减少至少第一电子束柱与至少第二电子束柱之间的串扰的 方法，其中第二电子束柱邻近于第一电子束柱，所述方法包含：

提供第一触发事件；

在第一触发事件之后的第一预定时间，用第一电子束柱将第一电子束脉 冲发射到基板上；

在第一触发事件之后的第二预定时间，在第一读取窗口中检测来自第一 电子束脉冲的第一信号；

提供第二触发事件；

在第二触发事件之后的第三预定时间，用第二电子束柱将第二电子束脉 冲发射到基板上；以及

在第二触发事件之后的第四预定时间，在第二读取窗口中检测来自第二 电子束脉冲的第二信号，其中第一读取窗口与第二读取窗口占据不同的时间 周期。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，第一预定时间等于第三预 定时间，且第二预定时间等于第四预定时间。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，第一读取窗口与第二读取 窗口不重迭。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，第一触发事件是主信号的 上升沿，且第二触发事件是主信号的下降沿。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，第一触发事件是主信号的 下降沿，且第二触发事件是主信号的上升沿。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，每一个电子束柱包含一个 在基板上经对角线测量为380毫米至440毫米的测试区域。