[发明专利]弹性波谐振器

说明书

技术领域

本发明涉及利用弹性表面波或弹性边界波的弹性波谐振器；详细而言，本发明涉及对IDT电极进行交叉宽度加权的单端口型弹性波谐振器。

背景技术

以往已提出利用弹性表面波或弹性边界波的各种弹性波谐振器。例如，专利文献1揭示图16和图17所示的弹性表面波谐振器。图16所示的弹性表面波谐振器501是专利文献1中作为已有例示出的利用乐甫波(Love Wave)的弹性表面波谐振器。此弹性表面波谐振器501在压电基片502上形成IDT电极503。IDT电极503是标准型IDT电极。弹性表面波谐振器501中，利用乐甫波的谐振特性，但存在产生横模造成的杂散波的问题。

因此，专利文献1中，作为能抑制横模造成的杂散波的结构，揭示具有图17所示电极结构的单端口型的弹性表面波谐振器511。弹性表面波谐振器511在IDT电极512的弹性表面波传播方向两侧，配置反射器513、514。而且，如图中所示，对IDT电极512进行交叉宽度加权，使得弹性表面波传播方向中央部中交叉宽度变大，并且往弹性表面波传播方向的端部，交叉宽度变小。

弹性表面波谐振器511通过对IDT电极512进行上述交叉宽度加权，抑制横模造成的响应，得到良好的谐振特性。专利文献1：日本国专利第2645674号公报

如专利文献1所记载，利用乐甫波的单端口型弹性表面波谐振器中，通过上文所述那样对IDT电极进行交叉宽度加权，能实质上抑制横模造成的杂散波。但是，上述交叉宽度加权存在IDT电极512的中央部分的交叉宽度极其大的问题。即，使IDT电极的交叉部的面积恒定时，与图16所示的IDT电极503相比，图17所示的IDT电极512由于上述那样进行交叉宽度加权，在弹性表面波传播方向中央，电极指的交叉宽度非常大。即，最大交叉宽度变大，所以电极指变长，使消耗功率集中在IDT电极513的中央。因此，抗电性容易恶化。

此外，由于最大交叉宽度变大，还使IDT电极513不得不加大与弹性表面波传播方向正交的方向的尺寸。

再有，上述弹性表面波谐振器511中，又存在反谐振频率的Q值不够高的问题。

再者，专利文献1记载的弹性表面波谐振器511利用乐甫波。这种乐甫波或瑞利波(Rayleigh Wave)等远比声速慢，波容易闷在IDT内，所以容易产生横模。利用比声速慢的非泄漏型乐甫波或瑞利波的弹性表面波时，难以通过调整压电基片的结晶方位来抑制形成杂散波的横模。

本发明根据上述已有技术的现状，其目的在于提供一种利用乐甫波和瑞利波等非泄漏型弹性波而不容易受横模等引起的杂散波的影响，并能提高反谐振频率的Q，从而能得到良好的谐振特性的弹性波谐振器。

发明内容

根据本申请第1发明，提供一种具有压电基片、以及形成在所述压电基片上的IDT电极的单端口型的弹性波谐振器，其中，对所述IDT电极进行交叉宽度加权，使得弹性波传播方向出现多个交叉宽度的极大值。

根据本申请第2发明，提供一种具有压电基片、以及形成在所述压电基片上的IDT电极的单端口型的弹性波谐振器，其中，对所述IDT电极进行交叉宽度加权，所进行的交叉宽度加权使得位于与该交叉宽度加权的弹性波传播方向正交的方向的外侧的一对包络线内至少一方的包络线，在与弹性波传播方向正交的方向上设置多个随着往弹性波传播方向的一个方向行进从IDT电极的中央侧往外侧倾斜的包络线倾斜部分。

本发明弹性波谐振器的某特定方面中，将所述IDT电极的交叉区的面积表示为S、电极指的对的数量表示为b时，将交叉宽度区的面积为S、电极指的对的数量为b的相当的标准型IDT电极的交叉宽度取为aλ(λ是弹性波的波长)时，使用a/b＝r表示的纵横比r为0.08以上。

本发明的弹性波谐振器中，所述包络线倾斜部分的形状并非特别加以限定，但本发明的特定方面中为直线状，另一特定方面中为曲线状。

本发明弹性波谐振器又一特定方面中，所述IDT电极的弹性波传播方向上，将至少一方的端部的交叉宽度取为最大交叉宽度的50％以下。

本发明弹性波谐振器再一特定方面中，使用弹性表面波作为所述弹性波，由此构成弹性表面波谐振器。

又，作为所述弹性表面波，虽然无专门加以限定，但适合使用非泄漏型弹性表面波的标准型IDT中容易产生横模的弹性表面波，例如瑞利波或乐甫波。