[发明专利]惯性力传感器

权利要求书

1.一种惯性力传感器，其具备：

用以检测惯性力的检测元件，其中，

所述检测元件具备：

两个第1正交臂，其分别具有第1臂和第2臂，并且是将所述第1臂和所述第2臂以89度到91度的角度进行交叉连结而形成的；

支承部，其支承两个所述第1臂；

两个固定用臂，所述固定用臂的一端连结有所述支承部，并且另一端固定有被安装所述检测元件的安装衬底，所述固定用臂至少一部分兼作所述第1臂；以及

锤部，其形成在所述第2臂的端部，

所述第2臂具有：

弯折部，其将所述第2臂弯折；

相对部，其在所述弯折部处弯折，并与所述第2臂相对；

驱动电极，其以所述支承部为基准，被设置在了与所述第2臂的长度方向相同的方向的两个所述相对部上，对所述相对部进行驱动振动；以及

检测电极，其以所述支承部为基准，设置在与设置有所述驱动电极的所述相对部反方向的两个所述相对部上，检测与设置了所述驱动电极的所述相对部反方向的所述相对部的变形。

2.根据权利要求1所述的惯性力传感器，其中，

所述两个第1臂和所述支承部以179度到181度进行角度连结。

3.根据权利要求1所述的惯性力传感器，其中，

所述固定用臂是以89度到91度的角度进行交叉连结所述第1臂和第3臂而形成的第2正交臂，

在所述第3臂的端部固定有所述安装衬底。

4.根据权利要求1所述的惯性力传感器，其中，

所述检测电极包括第1检测电极、第2检测电极、第3检测电极和第4检测电极，

在设置有所述检测电极的两个所述相对部中，

在其中一个所述相对部上，所述第1检测电极和所述第2检测电极相对地配置，

在另一个所述相对部上，所述第3检测电极和所述第4检测电极相对地配置。

5.根据权利要求3所述的惯性力传感器，其中，

通过检测所述第1臂的变形或者所述第3臂的变形，检测加速度。