[发明专利]移动体驱动系统及移动体驱动方法、图案形成装置及方法、组件制造方法以及决定方法

权利要求书

1.一种沿规定平面驱动移动体的移动体驱动系统，其特征在于 包括：

编码器，具备向具有把与上述规定平面平行的规定方向作为周期 方向的栅格的标尺照射检测光并接收来自上述标尺的反射光的读头， 测量上述移动体在上述规定方向的第1位置信息；以及

驱动装置，基于上述第1位置信息、以及起因于在与上述规定方 向不同方向的上述读头与上述标尺的相对运动的上述编码器的测量 误差的修正信息，将上述移动体驱动于上述规定方向。

2.根据权利要求1所述的移动体驱动系统，其特征在于：

上述标尺配置在与上述规定平面平行的上述移动体的一面，上述 读头配置在上述移动体的外部而能与上述标尺对向。

3.根据权利要求1所述的移动体驱动系统，其特征在于：

上述读头与上述标尺的相对运动，是在与上述规定平面正交的第 1方向，以及在与上述规定平面平行的面内的旋转方向即第2方向及 与上述规定平面平行的面内、绕轴旋转方向即第3方向中的至少一个 方向的相对运动。

4.根据权利要求1所述的移动体驱动系统，其特征在于还包括：

储存有上述修正信息的记忆装置，

上述驱动装置，在使用上述编码器测量上述移动体在上述第1位 置信息时，根据显示上述相对运动的上述移动体的第2位置信息与储 存于上述记忆装置的信息，求出起因于上述读头与上述标尺的相对运 动的上述编码器的测量误差的修正信息。

5.根据权利要求4所述的移动体驱动系统，其特征在于：

上述编码器设有多个，

在上述记忆装置中，针对每个编码器储存上述修正信息，

上述驱动装置，基于上述移动体的上述第2位置信息、与储存于 上述记忆装置的信息，针对各编码器求出起因于上述读头与上述标尺 的相对运动的上述编码器的测量误差的修正信息。

6.根据权利要求1所述的移动体驱动系统，其特征在于：

作为上述标尺，设有：

第1标尺，具有把与上述规定平面平行的面内的第1方向作为周 期方向的栅格；以及

第2标尺，具有把与上述规定平面平行的面内的第1方向交叉的 第2方向作为周期方向的栅格；

作为上述编码器，包含：

多个第1编码器，在上述第2方向的不同位置配置多个第1读头， 且通过与上述第1标尺对向的上述多个第1读头的至少1个，测量上 述移动体在上述第1方向的位置信息；以及

多个第2编码器，在上述第1方向的不同位置配置多个第2读头， 且通过与上述第2标尺对向的上述多个第2读头的至少1个，测量上 述移动体在上述第2方向的位置信息。

7.根据权利要求1至6中的任一所述的移动体驱动系统，其特 征在于还包括：

测量装置，测量上述移动体在与上述规定方向不同方向的位置信 息。

8.根据权利要求7所述的移动体驱动系统，其特征在于：

上述测量装置，包含对设在上述移动体的至少1个反射面照射1 或2以上的测长光束，来测量上述移动体在与上述规定方向不同方向 的位置信息的干涉仪。

9.根据权利要求7所述的移动体驱动系统，其特征在于还包括：

控制装置，使上述移动体变化為不同的多姿势，针对各姿势，根 据上述测量装置的测量结果在维持上述移动体的姿势的状态下，一边 从作为对象的编码器的读头对对应的标尺的特定区域照射检测光、一 边使上述移动体以规定行程范围移动于与上述规定平面正交的方向， 在上述移动中对上述编码器的测量结果进行取样，根据上述取样结果 进行规定运算，以求出作为对象的编码器的修正信息。

10.根据权利要求9所述的移动体驱动系统，其特征在于：

上述控制装置，把与同一标尺对应的多个编码器作为对象，在求 取上述修正信息时，考虑作为对象的编码器读头的倾倒所产生的几何 性误差，求出作为上述对象的编码器的修正信息。