[发明专利]残留气体分析仪

说明书

技术领域

本发明涉及半导体装置等腔室内残留气体分析等所用的残留气体分析仪。 

背景技术

近年来随着半导体器件的高密度化和高功能化，成膜、蚀刻工序的干式化进展也很迅速。 

为了稳定地制作高性能产品，进行实时控制以正确把握腔室内的状态并确保工序处于最佳状态是不可或缺的。此用途的残留气体分析仪存在较强的需求。 

具体来说，这种残留气体分析仪已知包括：一体地具有由离子源、质量分析部和检测部所组成的传感部和频谱变换部的传感器单元；以及设置在该传感器单元与外部PC机之间、分别电缆连接彼此的接口部(参照例如非专利文献1)。 

而且，采用此残留气体分析仪，首先导入离子源的残留气体与高温灯丝所释放出的热电子碰撞实现离子化。所生成的离子由透镜加速和聚束并导入质量分析部。质量分析部对4根圆柱形电极(四重极)施加直流和交流电压，筛选离子的质量。分离的离子由法拉第杯作为电流检出。该离子电流与残留气体量(分压)成正比，因而可以高精度测定残留气体。 

非专利文献1：池田亨《特集论文超小型残留气体分析仪PressureMaster RGA系列》堀场技术报导(HORIBA Technical Reports)，株式会社堀场制作所，2004年3月第28号，p12-15 

但在现有构成中，传感器单元和接口部彼此是分体的，因而可认为能够将传感器单元配置于半导体装置这种狭窄场所进行计量测定，但由于只能够在与外部PC机进行了电缆连接的状态下进行计量测定，因而事实上传感器单元的安装场所受到限制。而没有外部PC机又不能显示分析结果。 

发明内容

本发明是着眼于上述问题而提出的，主要目的在于提供一种对于半导体装置等狭窄场所也  能够合适配置进行计量测定，而且在无外部PC机的情况下能够进行从计量测定直至显示计量测定结果这种优异的残留气体分析仪。 

具体来说，本发明的残留气体分析仪，其特征在于，包括具有检测残留气体的传感部的传感器单元、以及装置本体，该装置本体包括接受操作以控制所述传感部的操作部、根据所述传感部的输出而对残留气体进行分析处理的残留气体分析处理部、以及对残留气体分析处理部的分析处理结果进行图像显示的分析处理结果图像显示部，所述装置本体具有用于安装所述传感器单元的安装面，在使所述传感器单元安装在所述安装面的安装状态，所述装置本体控制所述传感部而进行残留气体的分析处理，在所述传感器单元从所述安装面脱离的脱离状态，所述装置本体控制所述传感部而进行残留气体的分析处理。 

按照这样的方案，将传感器单元从装置本体上卸下的话，便可配置于装置整体无法放入的半导体装置的狭窄部位进行使用。而将传感器单元安装在装置本体上的话，装置整体可单独使用，很容易操作。而且，不需要为了使传感部动作而进行PC机等外部装置的起动等，易用性方面较好。 

也就是说，可以提供一种对于半导体装置等狭窄场所也能够很好配置进行计量测定、而且在无外部PC机的情况下能够进行从计量测定直至显示计量测定结果的、优异的残留气体分析仪。 

为了确保上述效果，并且设法对多个场所同时计量测定，最好在将多个传感器单元其中的一个传感器单元安装在一个装置本体上、使其它传感器单元脱离所述一个装置本体的状态下，进行有线连接或者无线连接以便相对于所述一个装置本体或所述一个传感器单元呈串联或并联连接。 

作为本发明的传感部的较佳实施例可例举下列情形，该传感部包括：用于对气体分子进行离子化的离子源；根据离子的荷质比对(日文：電荷对質量比)而将从该离子源得到的离子束予以分离的四重极部；捕获该四重极部所分离的离子束作为离子电流进行检测的法拉第杯检测部。 

若所述传感器单元具有将由所述法拉第杯检测部检出的离子电流变换为表示电压值的数字电压信号的频谱变换部，即便是在使传感器单元脱离装置本体的状态下使用，也可以避免例如设在半导体装置上的磁体等的影响，可以进行高精度的测定。 

作为本发明的操作部的较佳实施例可例举下列情形，该操作部是设在所述装置本体上的操作按钮。 

而且，为了进一步改善易用性，最好所述操作部可相对于所述装置本体装拆。此外，也可以设置与装置本体另体的操作部。 

为了使配线简化，最好所述一个装置本体和多个传感器单元均具有可供电和通信的电缆，  这些电缆均与可供电的集线器连接。