[发明专利]层压设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于用层压辊将膜等接合到基板上的层压设备，并且 具体地，涉及一种其中保持膜的张力不变的层压设备。

背景技术

常规地，层压设备被用于其中将具有光敏性的膜等接合到玻璃基板、 半导体基板等的液晶生产线、半导体生产线等。在层压设备中，膜被重叠 在以预定的间隔连续供给的各个基板的一个表面上，并且一对层压辊夹紧 该基板和膜，以通过压力将它们接合(例如，参见日本专利公开公布 2003-062906)。

在层压设备中，膜首先被发送到将基板和膜在其中接合的通道中。当 已经将基板发送到通道中时，移动膜的输送路径，以将膜重叠在基板上。 膜包括：基膜、用来接合基板而形成在基膜上的树脂层，以及层叠在树脂 层上的保护层。在将膜发送进入到通道中以前，将保护层剥离。通过加热 使树脂层熔化，以将其紧密地粘合到基板上。然而，在在室温剥离保护层 的状态下，树脂层也具有粘合性。由于此原因，树脂层粘合到与其接触的 导辊等上。

在上述公布2003-062906中所述的层压设备中，将吸鼓布置在层压辊 的上游侧。该吸鼓吸引膜，并且在膜运送方向上及它的相反方向上旋转， 以使放在层压辊上的膜的张力稳定。同时，在吸鼓和层压辊之间测量膜的 张力。基于张力的测量结果，调节吸鼓的旋转速度，以保持膜的张力不变。

与用于运送膜的辊相比，吸鼓具有更大的直径，并且它的内部安置有 用于进行空气抽吸的空气通道。因而，惯性力矩相对大。特别是，近年来， 由于液晶面板等具有更大的屏幕，因此层压设备中使用的吸鼓具有更大的 直径。因而，惯性力矩进一步增加。上述公布2003-062906没有公开如何 改变吸鼓的旋转速度。然而，当调节旋转吸鼓的电动机的旋转速度时，发 生时滞，直至在调节电动机的旋转速度以后实际改变吸鼓的旋转速度。由 于此原因，出现的问题是，由于时滞过程中的膜张力的不稳定波动而引起 皱纹等，并且层压质量劣化。此外，出现的其它问题是膜归因于张力的波 动而拍动(flap)，以及基板供给被扰乱。

本发明的一个主要目的是提供一种层压设备，在所述层压设备中，使 膜的张力吸鼓和层压辊之间保持不变。

发明内容

为了达到以上目的和其它的目的，根据本发明的层压设备包含层压辊 和张力辊。层压辊通过运送并压制基板和膜而将膜接合到基板上。张力辊 被布置在层压辊在膜的运送方向上的上游侧，以对膜施加张力。转矩调节 器介于张力辊和用于旋转张力辊的电动机之间，用于调节从电动机传送到 张力辊的转矩。同时，在张力辊和层压辊之间延伸的膜输送路径，布置用 于测量膜的张力的装置。基于测量的张力，通过张力控制器控制转矩调节 器，以控制膜的张力。

作为张力辊，可以使用在与膜的运送方向相反的方向上旋转的辊。为 了增加通过张力辊施加的张力，所述张力辊的圆周表面可以吸取膜。

作为转矩调节器，用于调节从电动机传送到张力辊的转矩的离合器是 适当的。此外，作为该离合器，粉末离合器是适当的，因为它可以迅速并 且精确地控制传送转矩。

张力控制器包含转矩计算器和驱动信号产生器。转矩计算器将通过张 力测量装置测量的转矩与预置的参比张力进行比较，以计算张力辊必需的 转矩。基于计算的转矩，驱动信号产生器产生转矩调节器的驱动信号。顺 便提及，转矩计算器可以计算用于使测量的张力与参比张力相等所必需的 张力辊的转矩。

在一个优选的实施方案中，层压设备进一步包含运送机构和转矩改变 器。运送机构仅运送膜或运送膜和基板两者。运送机构能够使运送速度可 以在膜运送速度和接合速度之间改变，所述膜运送速度是在仅膜通过层压 辊的时候设置的，而所述接合速度是在将基板和膜接合的时候设置的。当 运送机构改变运送速度时，转矩改变器通过将转矩指令输入到张力控制器 中，以改变转矩调节器的传送转矩。

在改变转矩调节器的传送转矩过程中，当接合速度比膜运送速度快时， 在膜运送速度被改变为接合速度的加速时期中减小转矩调节器的传送转 矩。相反，在接合速度被改变为膜运送速度的减速时期中增大转矩调节器 的传送转矩。