[发明专利]惯性力传感器

说明书

技术领域

本发明涉及用于各种电子设备的惯性力传感器。

背景技术

以下，对现有的惯性力传感器进行说明。列举角速度传感器作为惯性力传感器。

图6是现有的惯性力传感器的感测电路的电路图。在图6中，此角速度传感器具备：形成为音叉状、H形、T形、音片形状等各种形状的振荡器(oscillator)(未图示)；用以使此振荡器振动的驱动电路(未图示)；用以感测因科里奥利力(惯性力)而产生于振荡器的变形的感测电路2；以及用以对驱动电路以及感测电路2供给电力的供电电路(未图示)。

感测电路2中设置有连接电阻4和电容器6而形成的低通滤波器8及高通滤波器10。经由该低通滤波器8和高通滤波器10，在对因变形而从振荡器中输出的电感测信号进行平滑处理，并输出角速度信号。

此种角速度传感器被搭载用作例如数码相机等的具有防抖功能的部件。

另外，作为与此申请案的发明相关的在先技术文献信息，例如，众所周知有专利文献1及专利文献2。

在上述结构中，感测电路2的低通滤波器8及高通滤波器10中使用的电容器6充电如果未结束，则不能进行正常的角速度检测。尤其是在数码相机中使用角速度传感器的情况下，在接通了数码相机电源的起动后，无法立即进行正常抖动校正。关于这一点，如专利文献1所示，尽管具有无需经由高通滤波器的电阻便能进行充电的方法，但仅此无法充分进行充电。

专利文献1：日本专利特开平5-207356号公报

专利文献2：日本专利特开2002-243451号公报

发明内容

本发明提供一种惯性力传感器，其可充分进行充电，在用于数码相机等的情况下，可在起动后立即进行抖动校正。

本发明的惯性力传感器，具备：振荡器；以及感测电路，其对从所述振荡器输出的感测信号进行平滑处理并输出角速度信号，所述感测电路具有连接电阻和电容器而形成的低通滤波器及高通滤波器，在所述低通滤波器的电阻和电容器之间连接有所述高通滤波器的电容器的一端，经由所述低通滤波器和所述高通滤波器对所述感测信号进行平滑处理并输出角速度信号，开关与所述低通滤波器及所述高通滤波器中的至少任意一个的所述电阻并联连接，并且使所述开关导通以对所述高通滤波器的电容器进行充电，所述感测电路还具备噪声滤波器，从所述高通滤波器输出的角速度信号经由所述噪声滤波器被输出，所述噪声滤波器具有放大器，所述角速度信号被输入到所述放大器的同相输入端子上，电压经由输入电阻被施加到所述放大器的反相输入端子上，从所述放大器的输出端子输出经放大的所述角速度信号，将与施加到所述放大器的所述反相输入端子的所述电压相同的电压施加到所述高通滤波器的电容器的一端。

根据上述结构，可从电容器的两端进行充电，也可视需要在从低通滤波器侧充电或者从高通滤波器侧充电之间进行选择，均能够进行充电。尤其是，当从电容器两端中的一端进行充电时，有时会由于受到连接在另一端的负载影响而无法稳定地进行充电，然而，因可从电容器的两端进行充电，所以可稳定地进行充电。因此，即便在用于数码相机等的情况下，也可在起动后立即进行抖动校正。

图1是本发明实施方式中的角速度传感器的框图。

图2是本发明实施方式中的角速度传感器的感测电路的电路图。

图3是表示相对于抖动频率的增益的特性波形图。

图4是表示图2的(A点)～(E点)中的特性波形的特性波形图。

图5是表示角速度信号达到稳定范围为止的时间的特性波形图。

图6是现有惯性力传感器的感测电路的电路图。

附图标记说明

12    振荡器

14    驱动电路

16    监视电路

18         感测电路

20         驱动电极

22         感测电极

24         监视电极

26         AGC电路

28         BPF电路

30         放大电路

32         差分放大电路

34         同步检波电路

36         低通滤波器

38         高通滤波器

40         噪声滤波器

42         第1低通滤波器

44         第2低通滤波器

46、62     放大器

48、54     电阻