[发明专利]磁流体密封装置

权利要求书

1.一种磁流体密封装置，具有：传递规定的机械运动的轴、供所述轴贯穿的壳、以及将所述轴支撑在所述壳上的轴承部，所述装置设置于保持在规定环境下的处理室的开口部，以使该开口部闭塞，通过该开口部向所述处理室内插入所述轴，并通过该轴从所述处理室外向所述处理室内传递所述机械运动，其特征在于，具有：

配置在所述壳与所述轴之间、在所述轴的周围在该轴的轴向上产生磁力的磁力产生单元；

分别配置在所述磁力产生单元的所述轴的轴向两侧的磁传递构件；以及

被由所述磁力产生单元产生的磁通保持在所述轴与所述磁传递构件之间的环状缝隙内、使所述壳与所述轴之间的所述处理室的近位侧和远位侧密封的磁流体，

在所述轴的内部，至少在所述磁流体附近埋设有加热单元。

2.如权利要求1所述的磁流体密封装置，其特征在于，所述加热单元在所述轴的内部延长至所述处理室附近。

3.如权利要求1或2所述的磁流体密封装置，其特征在于，还具有：

检测所述轴的扭矩的扭矩检测单元、以及

基于所述检测出的扭矩来控制所述加热单元的发热的加热控制单元。

4.如权利要求1至3中任一项所述的磁流体密封装置，其特征在于，所述加热单元是硅橡胶加热器、聚酰亚胺加热器、护套式加热器、云母加热器中的任一种加热器，或者是它们的复合加热器。