[发明专利]膜生长期间的特性改变

权利要求书

1.一种方法，包括

使用分子束外延或化学气相沉积法生长一个层；并在所述层正在形 成时将其选定部分曝光于辐射下。

2.权利要求1的方法，其中所述层包括一种III氮化物、半导体、 塑料或陶瓷。

3.权利要求1的方法，其中所述层包括InGaN。

4.权利要求1的方法，其中一个激光束被用于将所述层的选定部分 曝光。

5.权利要求1的方法，还包括控制扫描镜以通过激光进行局部曝光。

6.权利要求5的方法，其中所述层包括In_xGa_1-xN。

7.权利要求5的方法，其中所述扫描镜提供对所述层上的曝光光斑 的x，y控制。

8.权利要求7的方法，其中曝光光斑的速度可在约5至256410mm/ 秒的范围内改变。

9.权利要求7的方法，其中所述层上的所述曝光光斑的尺寸约为50 μm或更小。

10.权利要求5的方法，其中所述激光为脉冲激光。

11.权利要求10的方法，其中所述激光为飞秒范围内的脉冲激光。

12.权利要求5的方法，其中所述激光的发射能大于正被形成的材 料的带隙。

13.权利要求1的方法，其中所述曝光部分具有下述特征中的一个 或多个，所述特征包括变化的摩尔分数、灰度形貌、光致发光和光学非 线性。

14.一种方法，包括：

生长一个层；以及

并在所述层正在形成时将其选定部分曝光于激光束光斑下。

15.权利要求14的方法，其中正被形成的层上的所述激光束光斑的 位置被控制，以在层上产生需要的三维形貌。

16.权利要求15的方法，其中使用一组反射镜来控制激光束光斑的 位置。

17.权利要求16的方法，其中所述反射镜将激光束由腔的外部通过 腔的观察端口引入。

18.一种用于在生长腔内生长在基底上的材料层上产生三维特征的 系统，该系统包括：

一个激光源，用于提供激光束；

一个透镜，用于将所述激光束在生长层上聚焦成一个光斑；以及

一组反射镜，它们被放置以从激光源接收激光束并用于控制激光束 光斑在正在生长的层上的位置。

19.权利要求18的系统，其中所述系统可被放置在生长腔的外部， 以将激光束通过一个窗口定向至生长层上。

20.权利要求18的系统，其中所述激光源包括光导纤维，并且所述 系统还包括连接至光导纤维上的用于提供激光束的扩束器。

21.权利要求20的系统，其中所述透镜为一个放置在所述扩束器和 所述透镜之间的F-Theta透镜。