[发明专利]工件夹具及引线接合装置

权利要求书

1.一种工件夹具，其用于引线接合装置，所述工件夹具的特征在于，具备：

内部中空部，其在对工件的接合区域进行接合时，形成氧化抑制气体的气氛；

下部开口部，其设于所述内部中空部的下方，用于向所述内部中空部放入所述接合区域；

上部开口部，其设于所述内部中空部的上方，使所述接合区域露出；

腔室，其覆盖所述内部中空部，且具有比所述上部开口部的开口面积广的面积；

气体导入口，其设于所述腔室，向所述腔室导入所述氧化抑制气体；

孔，其与所述腔室的下方连接，将从所述气体导入口导入的所述氧化抑制气体向所述工件的接合区域以外的部分喷射。

2.根据权利要求1所述的工件夹具，其特征在于，

在对所述工件的接合区域进行接合时，所述氧化抑制气体从所述气体导入口导入所述腔室，从所述腔室流向所述内部中空部，并且从所述腔室通过所述孔，向所述接合区域以外的部分喷射，并从所述内部中空部通过所述上部开口部而向外部排出。

3.根据权利要求1或2所述的工件夹具，其特征在于，

所述孔配置于所述内部中空部的周围。

4.根据权利要求1或2所述的工件夹具，其特征在于，

所述气体导入口位于距离所述上部开口部的最远侧。

5.一种引线接合装置，其在工件的接合区域进行引线接合，所述引线接合装置的特征在于，具备：

载物台，其载置所述工件；

工件夹具，其将所述工件固定于所述载物台上；

接合工具，其对所述工件进行接合，

所述工件夹具具有：

内部中空部，其配置有所述工件的接合区域；

上部开口部，其设于所述内部中空部的上方，使所述接合区域露出；

腔室，其覆盖所述内部中空部，且具有比所述上部开口部的开口面积广的面积；

气体导入口，其设于所述腔室，向所述腔室导入氧化抑制气体；

孔，其与所述腔室连接，位于在所述载物台上载置的所述工件中的接合区域以外的部分的上方。

6.根据权利要求5所述的引线接合装置，其特征在于，

具备：设置在所述孔和所述接合区域以外的部分之间的空间，

将所述氧化抑制气体从所述气体导入口导入所述腔室，并从所述腔室流向所述内部中空部，并且从所述腔室通过所述孔而流向所述空间，并从所述内部中空部通过所述上部开口部而向外部排出的同时，进行接合。