[发明专利]电容式传声器

权利要求书

1、一种电容式传声器，包括：

具有腔体的基板；

第一间隔件，通过沉积在所述基板上的第一膜形成；

第二间隔件，通过沉积在所述第一间隔件上的、具有绝缘能力的第三膜形成；

开口，贯穿所述第一间隔件和所述第二间隔件以便与所述腔体连通；

隔膜，定位在所述开口之内且与所述第一间隔件和所述第二间隔件略微离开，并且通过形成在所述第一膜和所述第三膜之间的、具有导电性的第二膜形成；

板件，通过沉积在所述第三膜上的、具有导电性的第四膜以矩形形状形成，所述矩形形状由第一对相对侧和第二对相对侧限定，所述板件被定位为与所述隔膜大致平行，其中，所述第一对相对侧被固定到所述第二间隔件，并且所述第二对相对侧在平面视图中被定位在所述隔膜的一区域之内；

一对桥接件，通过所述第四膜形成并且被安附到所述第二间隔件上，以便向所述开口内凸出；以及

一对第三间隔件，与所述第一间隔件和所述第二间隔件离开并且被定位在所述开口之内，其中，所述第三间隔件在所述桥接件的凸出部和所述隔膜中的相对于所述第二对相对侧的指定部分之间连结。

2、如权利要求1所述的电容式传声器，其中，所述腔体用所述隔膜大致覆盖，并且所述第一膜具有绝缘能力。

3、如权利要求2所述的电容式传声器，进一步包括：

一对板件连结部，通过所述第四膜形成并且与所述板件的第一对相对侧整体地互连；

一对保护电极，通过所述第二膜形成并且与所述隔膜略微离开并且被插入在所述板件连结部和所述基板之间；

第一电路元件，用于将所述保护电极和所述板件置于大致相同的电位；以及

第二电路元件，用于将所述基板和所述隔膜置于大致相同的电位。

4、如权利要求1所述的电容式传声器，其中，所述隔膜具有由一对长侧和一对短侧限定的矩形形状，并且其中，所述隔膜的那对长侧被定位为与所述板件的第一对相对侧平行，且所述隔膜的那对短侧被定位为与所述板件的第二对相对侧平行。

5、一种隔膜的制造方法，包括以下步骤：

对第一膜构图以便形成所述隔膜的中心部；

通过沉积而在所述第一膜的近端部上形成第二膜；以及

对在所述第二膜上的第三膜构图，以使得所述第三膜向所述第一膜之外延伸，以便形成所述隔膜的具有多层结构的弯曲部，该多层结构包括所述第一膜、所述第二膜和所述第三膜，其中，所述弯曲部向所述隔膜的中心部之外延伸。

6、一种电容式传声器的制造方法，该电容式传声器包括板件、隔膜、以及多个支承件，所述板件具有固定电极，所述隔膜由于向其施加的声波而引起振动，在该隔膜中，中心部具有移动电极且弯曲部被形成并且向所述中心部之外延伸，该多个支承件支承所述隔膜的弯曲部和所述板件，其方式是在所述固定电极和所述移动电极之间形成空气间隙，该电容式传声器的所述制造方法包括以下步骤：

对第一膜构图以便形成所述隔膜的中心部；

通过沉积在所述第一膜的近端部上形成第二膜；以及

对在所述第二膜上的第三膜构图，以使得所述第三膜向所述第一膜之外延伸，以便形成所述隔膜的具有多层结构的弯曲部，该多层结构包括所述第一膜、所述第二膜和所述第三膜，其中，所述弯曲部向所述隔膜的中心部之外延伸。

7、如权利要求6所述的电容式传声器的制造方法，其中，所述板件利用所述第三膜形成。

8、一种隔膜，包括：

中心部；以及

具有多层结构的弯曲部，该多层结构包括形成所述中心部的第一膜、形成在所述第一膜的近端部上的第二膜、和形成在所述第二膜上并且向所述第一膜之外延伸的第三膜，其中，所述弯曲部向所述中心部之外延伸。

9、一种电容式传声器，包括：

板件，具有固定电极；

隔膜，由于向其施加的声波而引起振动，其中，所述隔膜具有中心部和弯曲部，所述中心部具有移动电极，所述弯曲部以多层结构形成，该多层结构包括形成所述中心部的第一膜、形成在所述第一膜的近端部上的第二膜、和形成在所述第二膜上并且向所述第一膜之外延伸的第三膜，以使得所述弯曲部向所述中心部之外延伸；以及

多个支承件，用于支承所述板件和所述隔膜的弯曲部，以使得在所述固定电极和所述移动电极之间形成空气间隙。