[发明专利]涂覆体无效
申请号: | 200780014352.0 | 申请日: | 2007-04-20 |
公开(公告)号: | CN101426947A | 公开(公告)日: | 2009-05-06 |
发明(设计)人: | R·克雷默 | 申请(专利权)人: | 塞美康股份公司 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/35;C23C28/02;C23C30/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 周 铁;李连涛 |
地址: | 德国维*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 涂覆体 | ||
1.物体,其包括:
-基材
-和至少部分覆盖所述物体并施加在所述基材上的硬质材料层
其特征在于
-所述硬质材料层中包含金属元素Al、Cr和Si,以及选自B、C、 N、O的非金属元素,
-其中氧在非金属元素中的原子份额大于30%。
2.根据权利要求1所述的物体,特征在于氧在所述非金属元素中的 原子份额大于70%。
3.根据权利要求2所述的物体,特征在于氧在所述非金属元素中的 原子份额为几乎100原子%。
4.根据前面任意一项权利要求所述的物体,特征在于所述层通过磁 控溅射沉积。
5.根据前面任意一项权利要求所述的物体,其特征在于:
所述硬质材料层中的金属元素Al、Cr和Si具有AlxCrySiz型组 成,其中x、y和z是三种元素相对彼此以原子%计的份额,
-且x、y、z满足下列条件:
-x=100%-y-z,
-1%≤y≤70%和
-0.1%≤z≤20%。
6.根据权利要求5所述的物体,特征在于y和z满足下列条件:
-4%≤y≤60%和
-0.5%≤z≤10%。
7.根据权利要求6所述的物体,特征在于y和z满足下列条件:
-10%≤y≤50%和
-1%≤z≤5%。
8.根据前面任意一项权利要求所述的物体,特征在于在所述硬质材 料层中来自Al、Cr、Si组中的金属元素的原子份额总计大于50原子%, 进一步优选大于80原子%,特别优选几乎为100原子%。.
9.根据前面任意一项权利要求所述的物体,特征在于所述硬质材料 层包含元素Al、Cr和Si的氧化物和/或混合氧化物。
10.根据前面任意一项权利要求所述的涂覆体,特征在于所述硬质 材料层包含Al-Cr-Si-O体系中的晶体相。
11.根据权利要求10所述的涂覆体,特征在于所述硬质材料层是两 相或多相的。
12.根据前面任意一项权利要求所述的物体,特征在于所述硬质材 料层包含组成为(Al,Cr,Si)2O3的晶体。
13.根据权利要求12所述的物体,特征在于所述硬质材料层包含组 成为(Al,Cr,Si)2O3的晶体,其具有R-3c空间群的六方晶体结构。
14.根据前面任意一项权利要求所述的物体,特征在于所述硬质材 料层包含硅和组成为(Al,Cr)2O3的晶体,该晶体具有R-3c空间群的六 方晶体结构。
15.前面任意一项权利要求所述的物体,特征在于所述硬质材料层 包含组成为(Al,Cr,Si)2O3的晶体,其具有Fd3m空间群的立方晶体结 构。
16.前面任意一项权利要求所述的物体,特征在于所述硬质材料层 包含硅和组成为(Al,Cr)2O3的晶体,其具有Fd3m空间群的立方晶体 结构。
17.前面任意一项权利要求所述的物体,特征在于所述硬质材料层 包含组成为(Al,Cr,Si)2O3的晶体,且所述晶体为γ相Al2O3的取代混晶。
18.前面任意一项权利要求所述的物体,特征在于所述硬质材料层 包含组成为(Al,Cr)2O3的晶体,并进一步包含硅,且所述晶体为γ相 Al2O3的取代混晶。
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