[发明专利]从金属间纳米薄片颗粒的半导体前体层的高生产量印刷无效

专利信息
申请号: 200780014617.7 申请日: 2007-02-23
公开(公告)号: CN101443919A 公开(公告)日: 2009-05-27
发明(设计)人: 耶罗恩·K·J·范杜伦;克雷格·R·莱德赫尔姆;马修·R·鲁滨逊 申请(专利权)人: 耶罗恩·K·J·范杜伦;克雷格·R·莱德赫尔姆
主分类号: H01L31/00 分类号: H01L31/00;B05D1/12;B05D3/00;B05D7/00;B05D7/24
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 李 帆
地址: 美国加*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 金属 纳米 薄片 颗粒 半导体 前体层 生产量 印刷
【权利要求书】:

1.一种形成吸收层的方法,其包含:

配制颗粒的分散体,其中50重量%或更多的颗粒是各自含有至少 一种来自IB、IIIA和/或VIA族的元素而且具有非球形的平面形状的 薄片,其中所述分散体中包含的来自IB、IIIA和/或VIA族的元素的 总量使得该分散体具有期望的元素化学计量比;

用该分散体涂覆衬底以形成前体层;和

在合适气氛中处理该前体层以形成致密膜,所述合适气氛选自氢 气氛、氮气氛、一氧化碳气氛、硒气氛、硫气氛、碲气氛、氩气氛、 H2S气氛、H2Se气氛以及它们的组合;并且所述致密膜具有30%或更小 的空隙体积;

其中该分散体中的至少一组颗粒是含有至少一种IB-IIIA族金属 间合金相的金属间薄片颗粒。

2.权利要求1的方法,其中分散体中的至少一组颗粒是纳米小球 形式。

3.权利要求1的方法,其中分散体中的至少一组颗粒是纳米小球 形式而且含有至少一种IIIA族元素。

4.权利要求1的方法,其中分散体中的至少一组颗粒是包含单质 形式的IIIA族元素的纳米小球形式。

5.权利要求1的方法,其中金属间合金相不是端际固溶体相。

6.权利要求1的方法,其中金属间合金相不是固溶体相。

7.权利要求1的方法,其中金属间薄片颗粒贡献少于50mol%的 在所有颗粒中存在的IB族元素。

8.权利要求1的方法,其中金属间薄片颗粒贡献少于50mol%的 在所有颗粒中存在的IIIA族元素。

9.权利要求1的方法,其中金属间薄片颗粒在沉积于衬底上的分 散体中贡献少于50mol%的IB族元素和少于50mol%的IIIA族元素。

10.权利要求1的方法,其中金属间薄片颗粒在沉积于衬底上的 分散体中贡献少于50mol%的IB族元素和多于50mol%的IIIA族元素。

11..权利要求1的方法,其中金属间薄片颗粒在沉积于衬底上的 分散体中贡献多于50mol%的IB族元素和少于50mol%的IIIA族元素。

12.权利要求9的方法,其中摩尔百分比基于所述分散体中存在 的所有颗粒中的元素的总摩尔量。

13.权利要求1的方法,其中至少一些颗粒具有片晶状。

14.权利要求1的方法,其中大部分颗粒具有片晶状。

15.权利要求1的方法,其中所有的颗粒具有片晶状。

16.权利要求1的方法,其中分散体包含乳液。

17.权利要求1的方法,其中金属间合金相是二元材料。

18.权利要求1的方法,其中金属间合金相是三元材料。

19.权利要求1的方法,其中金属间合金相包含Cu1In2

20.权利要求1的方法,其中金属间合金相包含Cu1In2的δ相的 组成。

21.权利要求1的方法,其中金属间合金相包含Cu1In2的δ相与 Cu16In9限定的相之间的组成。

22.权利要求1的方法,其中金属间合金相包含Cu1Ga2

23.权利要求1的方法,其中金属间合金相包含Cu1Ga2的中间固 溶体。

24.权利要求1的方法,其中金属间合金相包含Cu68Ga38

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