[发明专利]单片欧浮纳分光计

权利要求书

1.一种衍射光栅(112，502)，它包括：

具有多个直线光栅(504)的电动表面(506)，各个直线光栅具有根据电动表面上变化的闪耀角(510)倾斜的闪耀表面(508)，各个直线光栅具有由两条格线(514a，514b)之间的间距限定的段(512)，各条格线具有闪耀复位器(516)，所述衍射光栅的特征是各个闪耀复位器具有在与和闪耀表面相关的闪耀角不同的角度改变的角度。

2.如权利要求1所述的衍射光栅，其特征在于，所述倾斜的闪耀表面是：

双面表面(508a)；或者

电动的双面表面(508b)。

3.如权利要求1或2所述的衍射光栅，其特征在于，所述闪耀表面的粗糙度(Ra)约为1纳米。

4.一种单片欧浮纳分光计(102)，它包括：

透光材料(101)，它具有：

入口表面(108)；

第一表面(109)，该第一表面具有施加在其上的第一反射涂层(118)，用以形成用于接收和反射通过所述入口表面的光束(120)的第一镜(110)；

第二表面(113)，该第二表面具有施加在其上的第二反射涂层(118)，用以形成用于接收、衍射和反射所述光束的如权利要求1-3中任一项所述的衍射光栅；

第三表面(115)，该第三表面具有施加在其上的第三反射涂层(118)，用以形成用于接收和反射所述衍射的光束(120’)的第二镜(114)；以及

出口表面(116)，该出口表面用于通过从所述第二镜反射的衍射的光束。

5.如权利要求4所述的单片欧浮纳分光计，其特征在于，所述透光材料是在金刚石加工的模具(402，408)中模制的。

6.一种成像系统(100)，它包括：

外壳(107)；

与所述外壳连接的狭缝(104，900，900’，900”)；

与所述外壳连接的探测器(106)；以及 

设置在所述外壳内的单片欧浮纳分光计(102)，所述的单片欧浮纳分光计包括：

透光材料(101)，它具有：

入口表面(108)；

第一表面(109)，该第一表面具有施加在其上的第一反射涂层(118)，用以形成用于接收和反射通过所述入口表面的光束(120)的第一镜(110)；

第二表面(113)，该第二表面具有施加在其上的第二反射涂层(118)，用以形成用于接收、衍射和反射所述光束的如权利要求1-3中任一项所述的衍射光栅；

第三表面(115)，该第三表面具有施加在其上的第三反射涂层(118)，用以形成用于接收和反射所述衍射的光束(120’)的第二镜(114)；以及

出口表面(116)，该出口表面用于通过从所述第二镜反射的衍射的光束。

7.如权利要求6所述的成像系统，其特征在于，所述狭缝包括：

具有第一面(904)的基材(902)，该第一面具有通过金刚石球嘴研磨方法(1002)除去的部分(906)，用以限定出狭缝孔的长度；以及

所述基材具有第二面(910)，该第二面具有通过金刚石飞切方法(1004)除去的部分(912)，用以切割出穿过该第一面的凹槽(914)，以形成狭缝孔(908，908’，908”)。

8.如权利要求6-7中任一项所述的成像系统，其特征在于，所述外壳和狭缝由相同的材料制造。

9.一种制造衍射光栅(112，502)的方法(600)，该方法包括以下步骤：

将材料(502’)固定(602)在金刚石机器上；以及

金刚石加工(604)所述材料，形成所述具有有多个直线光栅(504)的电动表面(506)的衍射光栅，各个直线光栅具有根据电动表面上变化的闪耀角(510)倾斜的闪耀表面(508)，各个直线光栅具有由两条格线(514a，514b)之间的间距限定的段(512)，各条格线具有闪耀复位器(516)，所述衍射光栅的特征是各个闪耀复位器具有在与和闪耀表面相关的闪耀角不同的角度改变的角度。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述金刚石加工步骤还包括：

金刚石以较慢的速度加工所述材料以形成闪耀表面；以及

金刚石以较快的速度加工所述材料以形成限定所述直线光栅的段的闪耀复位器。