[发明专利]用于感测压力的表面声波异频雷达收发机

权利要求书

1.一种用于感测压力的SAW(表面声波)异频雷达收发机，包括：

发送/接收IDT(内部数字异频雷达收发机)，所述发送/接收IDT接 收施加的信号以产生SAW(表面声波)并接收SAW以产生RF(射频) 信号；

探测IDT，所述探测IDT反射从所述发送/接收IDT发送过来的 SAW以返回所述SAW给所述发送/接收IDT；和

电容压力传感器，所述电容压力传感器与所述探测IDT电连接以调 制由所述探测IDT反射的SAW的振幅，其中，所述电容压力传感器的电 容压力的电容依据周围压力变化，其中，所述电容压力传感器包括：

基板；

导电下部电极，所述导电下部电极形成在基板上以覆盖所述基板的 预定区域；

介电层，所述介电层形成于所述基板上以覆盖所述下部电极；和

上部电极，所述上部电极包括设置于所述基板上的环形支撑部，和 由所述支撑部支撑的电极部，所述电极部在由所述支撑部环绕的下部电 极上密闭一个空间，并且根据从上部部件施加的压力的增加，使所述电 极部与介电层接触，同时所述电极部发生弹性形变，其中，所述上部电 极和所述下部电极的电容根据与所述介电层接触的所述电极部的面积大 小变化。

2.根据权利要求1所述的SAW异频雷达收发机，进一步包括天 线，所述天线接收来自外部的RF信号以施加所述RF信号给所述发送/接 收IDT，并发送由所述发送/接收IDT产生的RF信号至外部。

3.根据权利要求1所述的SAW异频雷达收发机，进一步包括：

标准IDT，所述标准IDT反射SAW，其功能是作为确定从所述探测 IDT反射的SAW的振幅调制特性的标准。

4.根据权利要求3所述的SAW异频雷达收发机，其中，所述标准 IDT设置在所述发送/接收IDT和所述探测IDT之间。

5.根据权利要求1所述的SAW异频雷达收发机，其中，所述电容 压力传感器的下部电极包括多个彼此间隔的下部电极元件。

6.根据权利要求5所述的SAW异频雷达收发机，其中，所述探测 IDT包括：

多个探测IDT元件，和

所述探测IDT的至少一个探测IDT元件与所述下部电极的至少一个 下部电极元件电连接。

7.根据权利要求6所述的SAW异频雷达收发机，其中，

所述探测IDT元件的数量与所述下部电极元件的数量相同，并且

所述探测IDT的所述探测IDT元件分别与所述下部电极的所述下部 电极元件电连接。

8.根据权利要求6或7所述的SAW异频雷达收发机，其中，邻近 的探测IDT元件的间隔相同。