[发明专利]试料导入系统

权利要求书

1.一种试料导入系统，其特征在于，包括：

前处理装置，该前处理装置进行前处理，将无用成分从含有分析试料的未处理试料气体中除去；

连接气体流路，该连接气体流路将经所述前处理装置处理后的已处理试料气体朝分析装置引导；

气体添加装置，该气体添加装置在所述连接气体流路中对朝所述分析装置流动的所述已处理试料气体添加载气；以及

压力调整装置，该压力调整装置在所述气体添加装置的上游对含有分析试料的气体的压力变动进行控制，

所述气体添加装置具有变更所述载气的添加流量的变更装置。

2.如权利要求1所述的试料导入系统，其特征在于，

所述压力调整装置具有密封气体流路和连通流路，

所述密封气体流路具有与密封气体的供给源连接的入口以及与大气或一定压力的气氛连通的出口，

所述密封气体流路的入口和出口之间的部位通过所述连通流路与所述连接气体流路中的所述前处理装置和所述气体添加装置之间的部位连通，

设置有设定所述未处理试料气体朝所述前处理装置的导入流量的设定装置，

所述未处理试料气体的导入流量被设定成一定值。

3.如权利要求1所述的试料导入系统，其特征在于，包括将所述未处理试料气体朝所述前处理装置导入的导入流路，

所述压力调整装置具有密封气体流路和连通流路，

所述密封气体流路具有与密封气体的供给源连接的入口以及与大气或一定压力的气氛连通的出口，

所述密封气体流路的入口和出口之间的部位通过所述连通流路与所述导入流路连通，

设置有设定所述未处理试料气体朝所述前处理装置的导入流量的设定装置，

所述未处理试料气体的导入流量被设定成一定值。

4.如权利要求1所述的试料导入系统，其特征在于，包括将所述未处理试料气体朝所述前处理装置导入的导入流路，

所述压力调整装置具有从所述导入流路分支出的排气流路，

所述排气流路具有与大气或一定压力的气氛连通的出口，

设置有：设定所述未处理试料气体朝所述导入流路的供给流量的设定装置、以及

设定所述未处理试料气体朝所述前处理装置的导入流量的设定装置，

所述未处理试料气体的导入流量被设定成一定值，

所述未处理试料气体的所述供给流量的设定值被设定成比所述导入流量的设定值大。