[发明专利]用于碳纳米管芯结构的方法、设备和系统

权利要求书

1.一种具有碳纳米管芯结构的热管，包括：

下导热壁材料；

仅沉积到所述下导热壁材料上的催化剂层；

形成于所述催化剂层上的碳纳米管芯；

一定体积的工作流体；以及

上导热壁材料，其形成包封所述碳纳米管芯和所述一定体积的工作流 体的腔室，其中所述下和上导热壁材料形成所述热管的内尺度；

其中使用一种或多种载气来辅助形成所述碳纳米管，所述一种或多种 载气包括甲烷或乙烯。

2.根据权利要求1所述的热管，其中所述壁材料包括铜或硅。

3.根据权利要求1所述的热管，其中所述催化剂层包括金属。

4.根据权利要求1所述的热管，其中所述碳纳米管是利用构图技术或 蒸发技术形成的。

5.根据权利要求1所述的热管，其中所述工作流体为水或乙醇。

6.一种具有碳纳米管芯结构的设备，包括：

热交换器；

具有冷板内体积的冷板；以及

所述冷板内体积中的热管，其中所述热管包括下导热壁材料、仅沉积 在所述下导热壁材料上的催化剂层、形成于所述催化剂层上的碳纳米管芯、 一定体积的工作流体以及形成包封所述碳纳米管芯和所述一定体积的工作 流体的腔室的上导热壁材料，其中所述下和上导热壁材料形成所述热管的 内尺度，并且其中使用一种或多种载气来辅助形成所述碳纳米管，所述一 种或多种载气包括甲烷或乙烯。

7.根据权利要求6所述的设备，还包括：

耦合到所述冷板和所述热交换器的管道导管；

耦合到所述导管的泵，其中所述泵使冷却流体通过所述管道在所述冷 板和所述热交换器之间循环。

8.根据权利要求6所述的设备，其中所述碳纳米管是利用构图技术或 蒸发技术形成的。

9.根据权利要求6所述的设备，其中所述冷板包括歧管板，其中所述 歧管板包含所述热管。

10.一种具有碳纳米管芯结构的系统，包括：

包括电子部件的框架；

热交换器；

具有冷板内体积的冷板；以及

所述冷板内体积中的热管，其中所述热管包括下导热壁材料、仅沉积 在所述下导热壁材料上的催化剂层、形成于所述催化剂层上的碳纳米管芯、 一定体积的工作流体以及形成包封所述碳纳米管芯和所述一定体积的工作 流体的腔室的上导热壁材料，其中所述下和上导热壁材料形成所述热管的 内尺度，并且其中使用一种或多种载气来辅助形成所述碳纳米管，所述一 种或多种载气包括甲烷或乙烯。

11.根据权利要求10所述的系统，还包括：

耦合到所述冷板和所述热交换器的管道导管；

耦合到所述导管的泵，其中所述泵使冷却流体通过所述管道在所述冷 板和所述热交换器之间循环。

12.根据权利要求10所述的系统，其中所述碳纳米管是利用构图技术 或蒸发技术形成的。

13.根据权利要求10所述的系统，其中所述冷板包括歧管板，其中所 述歧管板包含所述热管。