[发明专利]用于微光刻的具有四个透镜组的对称物镜

权利要求书

1.一种用于将辐射从物区域引导到像区域的光学透镜系统，所述光学透镜系统具有光轴，所述光学透镜系统包括：

包括沿所述光学透镜系统的光轴设置的第一透镜和第二透镜的第一透镜组；以及

包括沿所述光学透镜系统的光轴设置的第一透镜和第二透镜的第二透镜组；

其中：

所述第一透镜组具有对于所述辐射的第一色差；

所述第二透镜组具有对于所述辐射的第二色差；

所述辐射包括波长λ；

所述第二色差的值与所述第一色差的值之间的差小于λ；

所述光学透镜系统将波长为λ的辐射成像到像区域；以及

所述第二色差的符号与所述第一色差的符号相反；以及

其中，所述光学透镜系统形成微光刻光学透镜系统的一部分，并且所述第一透镜组将像区域中波长为λ的像的曲率减少到小于微光刻光学透镜系统的像区域中的所述微光刻光学透镜系统的焦深。

2.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，对于所述微光刻光学透镜系统的像区域中的辐射的所述微光刻光学透镜系统的色差的值小于所述第一色差的值。

3.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述第一透镜组中的至少一个透镜具有非球面。

4.根据权利要求3所述的光学透镜系统，其中，所述第二透镜组中的至少一个透镜具有非球面。

5.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述第一透镜组和第二透镜组之间沿所述光轴的最小距离为五厘米或更多。

6.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述第二透镜组包括透镜对，该透镜对包括凸透镜和凹透镜。

7.根据权利要求6所述的光学透镜系统，其中，所述凸透镜包括冕玻璃并且所述凹透镜包括燧石玻璃。

8.根据权利要求6所述的光学透镜系统，其中，所述凸透镜和所述凹透镜分开。

9.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述第二色差的符号与所述第二透镜组中的至少一个透镜的色差的符号相反。

10.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述第一透镜组包括具有曲率半径为130mm或更小的凹面的透镜。

11.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述第一透镜组包括第一透镜子组和第二透镜子组，所述第一透镜子组具有正光焦度，并且所述第二透镜子组具有负光焦度。

12.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述第一透镜组具有焦距和主平面，其中所述主平面与所述第二透镜组之间的最短距离大于所述第一透镜组的焦距。

13.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述第一透镜组在横截所述光轴的方向上的最大尺寸是所述第二透镜组在横截所述光轴的方向上的最大尺寸的1.5倍或更多。

14.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述第一色差的值小于所述第一透镜组中的一个透镜对于辐射的色差的值。

15.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述光学透镜系统具有0.33或更小的Г比率以及0.2或更小的最大数值孔径，Г比率由下式确定：

Γ=MaMb,]]>

其中M_a是对于放置在所述光学透镜系统的物区域与光瞳平面之间的透镜的所有小于0.6的|SA/CA|′值的算术平均，M_b是对于放置在所述光学透镜系统的物区域与光瞳平面之间的透镜的所有等于或大于0.6的|SA/CA|′值的算术平均，透镜表面的通光孔径CA指的是由从物区域的所有场点被照明的透镜的面积，透镜表面的子孔径SA指的是由从物区域的单个场点被照明的透镜的最大面积。

16.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，在所述物区域与所述像区域之间沿所述光轴设置的透镜的总数是30或更少。