[发明专利]用于错误诊断的多种错误特征无效
申请号: | 200780016501.7 | 申请日: | 2007-05-07 |
公开(公告)号: | CN101438249A | 公开(公告)日: | 2009-05-20 |
发明(设计)人: | L·J·小哈维;A·T·施沃姆 | 申请(专利权)人: | 应用材料股份有限公司 |
主分类号: | G06F11/00 | 分类号: | G06F11/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 陆 嘉 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 错误 诊断 多种 特征 | ||
1.一种诊断错误的方法,其包含:
侦测一错误;
判定对该错误有贡献的一个或多个处理变量;
判定所述一个或多个处理变量中的每一个的相应贡献;及
判定多个错误特征中的哪一个符合该错误,如果所述一个或多个处理变 量的相应贡献在一个错误特征的相应贡献范围内,则该错误特征就符合该错 误,每一个错误特征与至少一个错误分类相关联。
2.如权利要求1所述的方法,其更包含:
如果所述多个错误特征都不符合该错误,则添加针对该错误的新的错误 特征。
3.如权利要求2所述的方法,其更包含:
添加新的错误分类;及
使所述新的错误特征与所述新的错误分类相关联。
4.如权利要求2所述的方法,其中所述新的错误特征是在所述错误发生 单次之后被添加的。
5.如权利要求1所述的方法,其更包含:
将第一错误特征划分成多重错误特征,该第一错误特征包含针对第一处 理变量的第一相应贡献范围,所述多重错误特征中的每一个都具有第一处理 变量的不同的相应贡献,且所述多重错误特征中的每一个都与不同的错误分 类相关联。
6.如权利要求1所述的方法,其中多重错误分类与单一错误特征相关 联。
7.如权利要求1所述的方法,其更包含:
记录(tallying)每一个相关联的错误分类被确认为特定错误特征的实际 错误的次数。
8.如权利要求1所述的方法,其更包含:
判定所述多个错误特征中的哪一个部分地符合该错误,如果所述一个或 多个处理变量中的至少一个的相应贡献不在一错误特征的相应贡献范围内, 则出现部分符合;及
向所述多个错误特征中的一个或多个分配一相符接近得分(match closeness score)。
9.如权利要求1所述的方法,其中所述多个错误特征中的至少一个是一 组合式错误特征,该组合式错误特征具有基于第一统计模型的第一错误特征 以及基于第二统计模型的第二错误特征。
10.一种包含数据的机器可存取媒体,当被机器所存取时,使该机器执 行一种方法,该方法包含:
侦测一错误;
判定对该错误有贡献的一个或多个处理变量;
判定所述一个或多个处理变量中的每一个的相应贡献;及
判定多个错误特征中的哪一个符合该错误,如果所述一个或多个处理变 量的相应贡献在一个错误特征的相应贡献范围内,则该错误特征符合该错 误,其中每一个错误特征与至少一个错误分类相关联。
11.如权利要求10所述的机器可存取媒体,该方法更包含:
如果所述多个错误特征都不符合该错误,则添加一个针对该错误的新的 错误特征。
12.如权利要求11所述的机器可存取媒体,该方法更包含:
添加新的错误分类;及
使该新的错误特征与该新的错误分类相关联。
13.如权利要求10所述的机器可存取媒体,该方法更包含:
将第一错误特征划分成多重错误特征,该第一错误特征包含针对第一处 理变量的第一相应贡献范围,所述多重错误特征中的每一个都具有第一处理 变量的不同的相应贡献,且所述多重错误特征中的每一个都与不同的错误分 类相关联。
14.如权利要求10所述的机器可存取媒体,该方法更包含:
判定所述多个错误特征中的哪一个部分地符合该错误,如果所述一个或 多个处理变量中的至少一个的相应贡献不在一错误特征的相应贡献范围内, 则出现部分符合;及
向所述多个错误特征中的一个或多个分配一相符接近得分。
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