[发明专利]表面测量探头

权利要求书

1.一种确定表面测量探头的漂移的方法，所述表面测量探头包括壳体、表面接触触针、使所述触针发生振动的振动发生器、确定与所述触针的振动变化相关的参数的传感装置以及确定所述参数与一阈值之间的关系的比较器，所述方法包括以合适顺序排序的以下步骤：

当触针与表面不相接触时获取参数的读数；

在时间t中平均化所述参数读数，所述时间t远大于当接触表面时的过渡时间；

将参数读数的平均值与参考参数进行比较；

使用所述比较结果来确定是否存在明显的参数漂移。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述参数包括振动发生器的驱动电压和流经所述振动发生器的电流之间的相位变化。

3.根据前面任一权利要求所述的方法，其中，所述方法包括补偿参数漂移的步骤。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述补偿参数漂移的步骤包括调整驱动频率。

5.根据权利要求3所述的方法，其中，所述补偿参数漂移的步骤包括调整所述阈值。

6.根据前面任一权利要求所述的方法，其中，所述振动发生器包括一个或多个压电元件。

7.根据前面任一权利要求所述的方法，其中，所述方法还包括以下步骤：使用漂移测量来调整所述振动发生器的行为，从而补偿参数漂移效应。

8.一种表面测量探头，包括：

壳体；

表面接触触针；

使所述触针发生振动的振动发生器；

传感装置，用于确定与所述触针的振动变化相关的参数；

比较器，用于确定所述参数与一阈值之间的关系；以及

处理器，用于以任何合适的顺序执行下述步骤：

当触针与表面不相接触时获取参数的读数；

在时间t中平均化所述参数读数，所述时间t远大于当接触表面时的过渡时间；

将参数读数的平均值与参考参数进行比较；

使用所述比较结果来确定是否存在明显的参数漂移。

9.根据权利要求8所述的表面测量探头，其特征在于，所述处理器还执行以下步骤：使用漂移测量来调整所述振动发生器的行为，从而补偿参数上的漂移效应。

10.一种确定表面测量探头是否提供了可靠结果的方法，所述表面测量探头包括壳体、表面接触触针、使所述触针发生振动的振动发生器、确定与所述触针的振动变化相关的参数的传感装置，以及确定所述参数与一阈值之间的关系的比较器，所述方法包括步骤：

感测探头变量，所述探头变量对所述探头的加速度敏感；

将所述探头变量与一阈值进行比较；

如果所述探头变量超出所述阈值，则生成一输出。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述变量包括与触针振动的变化相关的参数。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，所述参数包括振动发生器的驱动电压与流经所述振动发生器的电流之间的相位变化。

13.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述探头变量包括所述振动发生器的电压。

14.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述探头变量包括所述探头经受的力。

15.根据权利要求10-14中任一权利要求所述的方法，其特征在于，所述输出为视频信号或音频信号。

16.根据权利要求10-14中任一权利要求所述的方法，其特征在于，所述输出经过通信链路被发送到控制器或PC。

17.根据权利要求10-16中任一权利要求所述的方法，其特征在于，所述方法包括步骤：如果出现输出则重新设定所述探头。

18.根据权利要求17所述的方法，其特征在于，所述探头通过执行所述振动发生器的频率扫描被重新设定。

19.根据权利要求17或18所述的方法，其特征在于，所述频率扫描在接收到输出时自动完成。