[发明专利]用于制造分离彩色滤光片的侧壁间隔物及对应图像传感器的方法

权利要求书

1.一种形成彩色滤光片阵列的方法，所述方法包含以下步骤：

在像素阵列上形成钝化层；

在所述钝化层上形成多个间隔物，以界定彩色滤光片元件的区域；以及

在所述间隔物所界定的所述区域内形成多个所述彩色滤光片元件的图案。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述钝化层包含磷硅玻璃、氮化硅及氮氧化物中的一者。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述形成所述间隔物的步骤进一步包含：

在所述钝化层上形成第二层；

图案化所述第二层以形成暴露所述钝化层的顶部表面的区域；

在所述钝化层及所述经图案化的第二层的顶部上且沿所述经图案化的第二层的侧壁形成第三层；以及

通过移除所述第三层的部分以露出所述钝化层的顶部表面及通过移除所述第二层而从所述第三层形成所述间隔物。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述第二层包含含碳层。

5.根据权利要求3所述的方法，其中所述第二层包含碳。

6.根据权利要求3所述的方法，其中所述第二层包含氧化物、二氧化硅、氮化硅、氮氧化物及正硅酸四乙酯中的一者。

7.根据权利要求3所述的方法，其中所述第二层具有大约1,000到大约20,000的厚度。

8.根据权利要求3所述的方法，其中所述第三层包含不透明材料。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述第三层吸收入射光。

10.根据权利要求8所述的方法，其中所述第三层反射入射光。

11.根据权利要求3所述的方法，其中所述第三层包含多晶硅。

12.根据权利要求3所述的方法，其中所述第三层包含金属。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述第三层包含金属硅化物。

14.根据权利要求12所述的方法，其中所述第三层包含铝。

15.根据权利要求12所述的方法，其中所述第三层包含金属合金。

16.根据权利要求3所述的方法，其中所述第三层具有大约500到大约3,000的厚度。

17.根据权利要求3所述的方法，其中所述移除所述第三层的所述部分的步骤包含蚀刻。

18.根据权利要求3所述的方法，其进一步包含以下步骤：在像素阵列外部的外围区域处在所述钝化层上形成所述第三层。

19.根据权利要求18所述的方法，其中所述第三层在所述外围区域上形成光阻挡物。

20.根据权利要求1所述的方法，其中所述彩色滤光片元件的图案包含红色滤光片元件、蓝色滤光片元件及绿色滤光片元件的图案。

21.一种彩色滤光片阵列，其包含：

彩色滤光片元件阵列，所述彩色滤光片元件通过形成于每一彩色滤光片元件之间的间隔物而彼此分离。

22.根据权利要求21所述的彩色滤光片阵列，其中所述彩色滤光片元件进一步包含红色滤光片元件、蓝色滤光片元件及绿色滤光片元件的图案。

23.根据权利要求21所述的彩色滤光片阵列，其中每一间隔物包含不透明材料。

24.根据权利要求23所述的彩色滤光片阵列，其中每一间隔物吸收入射光。

25.根据权利要求23所述的彩色滤光片阵列，其中每一间隔物反射入射光。

26.根据权利要求21所述的彩色滤光片阵列，其中每一间隔物包含多晶硅。

27.根据权利要求21所述的彩色滤光片阵列，其中每一间隔物包含金属。

28.根据权利要求27所述的彩色滤光片阵列，其中每一间隔物包含金属硅化物。

29.根据权利要求27所述的彩色滤光片阵列，其中每一间隔物包含铝。

30.根据权利要求27所述的彩色滤光片阵列，其中每一间隔物包含金属合金。