[发明专利]接触传感探头

权利要求书

1.一种接触传感探头，其包括：

探头主体；

物体接触触针，其安装在所述探头主体中；

传感器，其与所述触针机械连接，以便使所述触针振动；以及

在所述探头主体和所述触针之间串联连接的块和至少一个柔性构件，所 述块连接在所述触针和所述柔性构件之间，所述块和所述柔性构件被布置成 形成用于使得所述触针振动与所述探头主体机械隔离的装置。

2.根据权利要求1所述的接触传感探头，其特征在于，用于使得所述 触针振动与所述探头主体机械隔离的装置形成机械低通过滤器。

3.根据权利要求1或者2所述的接触传感探头，其特征在于，所述传 感器安装在所述块与所述触针之间。

4.根据权利要求1或2所述的接触传感探头，其特征在于，所述柔性 构件包括膜片弹簧。

5.根据权利要求1或2所述的接触传感探头，其特征在于，所述柔性 构件包括柔性膜片。

6.根据权利要求5所述的接触传感探头，其特征在于，在所述触针和 所述探头主体之间连接有两个柔性膜片。

7.根据权利要求1或2所述的接触传感探头，其特征在于，所述触针 的物体接触尖端安装有额外的质量块。

8.根据权利要求1或2所述的接触传感探头，其特征在于，所述传感 器包括一个或者多个压电元件。

9.根据权利要求1或2所述的接触传感探头，其特征在于，所述传感 器使得所述触针纵向振动。

10.根据权利要求9所述的接触传感探头，其特征在于，用于使得所述 触针振动与所述探头主体机械隔离的装置在与所述触针的纵向方向垂直的 方向上是刚性的。

11.一种坐标定位机器，包括接触传感探头，所述接触传感探头包括：

探头主体；

物体接触触针，其安装在所述探头主体中；

传感器，其与所述触针机械连接，以便使所述触针振动；以及

在所述探头主体和所述触针之间串联连接的块和至少一个柔性构件，所 述块连接在所述触针和所述柔性构件之间，所述块和所述柔性构件被布置成 形成用于使得所述触针振动与所述探头主体机械隔离的装置。

12.一种使用安装在坐标定位机器中的接触传感探头扫描工件表面的方 法，所述探头包括：探头主体；物体接触触针，所述触针具有纵向轴线；用 于将触针安装在所述探头主体中的支座；传感器，其与所述触针机械连接， 以便使所述触针沿纵向振动，其中所述支座在与所述纵向轴线垂直的横向方 向上是刚性的，

所述方法包括如下步骤：

用所述触针沿着所述横向方向接触所述工件表面；

扫描所述工件表面，同时保持所述表面与所述触针在所述横向方向上接 触；

从所述触针的振动中检测接触是否在扫描期间继续保持；以及

当在所述检测步骤中确定所述接触继续保持时，使得所述坐标定位机器 对工件表面进行一系列的连续的坐标读取。

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述支座在与所述纵向 轴线垂直的两个正交方向上是刚性的。