[发明专利]表面检查装置和表面检查头装置

权利要求书

1.一种表面检查装置，该表面检查装置具有利用来自光源的检查光经由光投射光纤照射被检查物的表面并检测该检查光的反射光的强度的检测装置，并基于所述检测装置的检测结果来检查所述被检查物的表面，其中，

所述检测装置包括：

第一受光光纤组，其包括多条受光光纤，该第一受光光纤组设置在所述光投射光纤的周围并且能够引导所述反射光；

第二受光光纤组，其包括多条受光光纤，从所述光投射光纤的角度观察，所述第二受光光纤组设置在所述第一受光光纤组的外侧，并且能够引导所述反射光；

第一光电转换装置，其根据所述第一受光光纤组引导的反射光的强度输出信号；以及

第二光电转换装置，其根据所述第二受光光纤组引导的反射光的强度输出信号，

该表面检查装置还包括：

运算规则设定装置，其将从所述第一光电转换装置输出的第一信号加到从所述第二光电转换装置输出的第二信号与预定值的乘积上的运算规则设定为预定运算规则，使得所述检测装置的与所述被检查物的表面所反射的光的角度变化有关的敏感度针对预定范围内的角度变化具有基本平坦的敏感度特性；以及

合成处理装置，其基于所述预定运算规则，对所述第一信号和所述第二信号进行组合。

2.一种表面检查装置，该表面检查装置具有利用来自光源的检查光经由光投射光纤照射被检查物的表面并检测该检查光的反射光的强度的检测装置，并基于所述检测装置的检测结果来检查所述被检查物的表面，其中，

所述检测装置包括：

第一受光光纤组，其包括多条受光光纤，该第一受光光纤组设置在所述光投射光纤的周围并且能够引导所述反射光；

第二受光光纤组，其包括多条受光光纤，从所述光投射光纤的角度观察，所述第二受光光纤组设置在所述第一受光光纤组的外侧，并且能够引导所述反射光；

第一光电转换装置，其根据所述第一受光光纤组引导的反射光的强度输出信号；

第二光电转换装置，其根据所述第二受光光纤组引导的反射光的强度输出信号，

该表面检查装置还包括：

运算规则设定装置，其将从所述第一光电转换装置输出的第一信号减去从所述第二光电转换装置输出的第二信号的运算规则设定为预定运算规则，使得所述检测装置的与距所述被检查物的反射位置的距离变化有关的敏感度具有在所述反射位置变近了切削加工产生的碎屑的平均尺寸时具有负峰值的敏感度特性；以及

合成处理装置，其基于所述预定运算规则，对从所述第一信号和所述第二信号进行组合。