[发明专利]基板检查用夹具及其中的连接电极部的电极结构

说明书

技术领域

本发明涉及检查受检基板时使用的基板检查用夹具及基板检查用夹具中的连接电极部的电极结构，特别是涉及可以降低基板检查用夹具的触杆与基板检查用夹具的电极部的接触电阻的基板检查用夹具的电极结构以及具有该电极结构的检查夹具。 

本发明不限于印刷电路布线基板，例如可以适用于软电缆基板、多层布线基板、液晶显示器或等离子体显示器用的电极板、以及半导体组件用的插件基板、软片载体或半导体晶片等各种基板上的电气布线的检查，本说明书中，把这种种布线基板统称为“基板”。 

背景技术

以往，设置在电路基板上的布线图形必须正确地把电信号传递到装载于该电路基板上的IC等半导体或电阻器等电气、电子零部件，所以要对安装电气、电子零部件之前的印刷电路布线基板、液晶面板或等离子体显示器面板上形成了布线图形的电路布线基板或者半导体晶片等的基板上形成的布线图形测定设置在成为检查对象的布线图形上的检查点之间的电阻值，判定其是否良好。 

在这种判定检查中，实施检查布线图形的断线和短路的检查方法。在这样的导通或短路的检查中，将每个测定端子分别靠接在设置在成为检查对象的布线图形的两处的检查点上，在其测定端子间流过规定大小的测定用电流，由此来测定其测定端子间的电压值，比较该电压值与预定的阈值，从而进行良好与否的判定。 

但是，用这种方法使用的基板检查用夹具，在测定用电流的供给和电压的测定时共用靠接在布线图形的两处的各检查点上的每个测定端子的情况下，测定端子与检查点之间的接触电阻就会影响测定电压，电阻值的测定精度就会下降，检测结果的可靠性降低。 

特别是，近年来设置在电路基板上的布线图形的微细化程度提高，布线图形的电阻值减小，上述的接触电阻对该测定值的影响就成了大的问题。 

为了解决这种接触电阻的问题，提出了专利文献2展示的触杆的方案。该触杆具有可略垂直地接触测定对象的电极的略直线状的接触部，由沿该接触部的长度方向延伸的一部分与该接触部的其他部分具有不同热膨胀率的材料构成。按照这样的构成，由于构成为双金属，所以在规定的环境温度下使接触部略垂直地接触测定对象的电极，如果在该状态下进行过度激励，从该测定对象的电极传递的环境温度的热就使该接触部向由热 膨胀率小的材料构成的部分弯曲。 

但是，即便使用这样的触杆，也仅仅能够使其垂直接触电极部，而从所谓接触稳定性的观点来考虑的话，还不能说有充分的接触稳定性和接触电阻值低的连接。 

专利文献1：特開平6-66832号公报 

专利文献2：特開2005-345129号公报 

发明内容

鉴于上述的现实情况，本发明的目的在于提供一种基板检查用夹具的电极结构以及具有这种电极结构的检查夹具，这种电极结构能够降低基板检查用夹具的触杆与基板检查用夹具的电极部的接触电阻。 

权利要求1记载的发明提供一种基板检查用夹具，为检查受检基板的电气特性而实现基板检查装置主体与设置在该受检基板的布线图形上的多个基板受检点之间的电气导通，其特征在于所述基板检查用夹具具有触杆群、支持所述触杆群的触杆支持体和连接在所述基板检查装置主体上的连接电极体；该触杆群由导电性的棒状的触杆构成，该触杆的两端具有实现电气导通的端部，一方端部压接一个所述基板受检点；该连接电极体具备连接电极部，该连接电极部面对所述触杆群的各个触杆的另一方端部；在连接所述触杆群的所述另一方端部与所述连接电极体时，各个所述另一方端部的近旁的侧周面的至少一部分接触与其相面对的所述连接电极部的一部分，由此而成为电气导通状态。 

权利要求2的发明提供一种权利要求1记载的基板检查用夹具，其特征在于所述连接电极部具有收容与其相面对的所述触杆的所述另一方端部的结构，且所述触杆与所述连接电极部的导通状态取决于至少该触杆的另一方端部与该连接电极部的内部侧表面的接触。 

权利要求3的发明提供一种权利要求1或2记载的基板检查用夹具，其特征在于所述连接电极部是能够使与其相面对的所述触杆的所述另一方端部的至少一部分动配合的形状。 

权利要求4的发明提供一种权利要求1或2记载的基板检查用夹具，其特征在于所述连接电极部被形成为筒状。权利要求5的发明提供一种权利要求1或2记载的基板检查用夹具，其特征在于所述连接电极部相对所述触杆的长轴倾斜或弯曲而形成。权利要求6的发明提供一种权利要求1或2记载的基板检查用夹具，其特征在于所述连接电极部具有沿所述触杆的出入方向和直角方向滑动的滑移部。