[发明专利]氢气检测装置

权利要求书

1.一种氢气检测装置，其特征在于，具有：

氢气传感器，其具有透过光的基板、形成于所述基板的一侧的面上的第 一反射膜、形成于所述基板的另一侧的面上的第二反射膜、将光输入到所述 基板的一侧的端部的光输入口、将从所述光输入口输入并在所述第一反射膜 和所述第二反射膜交互地反射而到达所述基板的另一侧的端部的光向所述 基板外部输出的光输出口，所述第一反射膜及所述第二反射膜中的任一个或 双方与氢气接触时反射率产生变化；

光源，其向所述光输入口输入光；

光传感器，其接收从所述光输出口输出的光并输出检测信号。

2.如权利要求1所述的氢气检测装置，其特征在于，所述第一及第二 反射膜中与氢气接触时反射率产生变化的反射膜，具有：薄膜层，其形成于 所述基板的表面或背面；催化剂层，其形成于所述薄膜层的表面，与氢气接 触时将所述薄膜层氢化，并使所述薄膜层的反射率产生变化。

3.一种氢气检测装置，其特征在于，具有：

多个氢气传感器，其具有透过光的基板、形成于所述基板的一侧的面上 的第一反射膜、形成于所述基板的另一侧的面上的第二反射膜、将光输入所 述基板的一侧的端部的光输入口、将从所述光输入口输入并在所述第一反射 膜和所述第二反射膜交互地反射而到达所述基板的另一侧的端部的光向所 述基板外部输出的光输出口，所述第一反射膜及所述第二反射膜中的任一个 或双方与氢气接触时反射率产生变化；

光传送装置，其将所述多个氢气传感器作为光路进行级联连接；

光源，其向所述级联连接的光路输入端的氢气传感器的所述光输入口输 入光；

光传感器，其接收从所述级联连接的光路输出端的氢气传感器的所述光 输出口输出的光并输出检测信号。

4.如权利要求3所述的氢气检测装置，其特征在于，所述第一及第二 反射膜中与氢气接触时反射率产生变化的反射膜是具有薄膜层和催化剂层 的反射膜，该薄膜层形成于所述基板的表面或背面，该催化剂层形成于所述 薄膜层的表面，与氢气接触时将所述薄膜层氢化，并使所述薄膜层的反射率 产生变化。