[发明专利]磁性材料和天线器件

权利要求书

1.一种磁性材料，其具备基板和复合磁性膜，所述复合磁性膜具备形 成于所述基板上、纵向朝向相对于所述基板的表面垂直的方向的含有从 Fe、Co和Ni的至少一种中选出的磁性金属或磁性合金的多个柱状体、和 形成于所述柱状体之间的选自金属的氧化物、氮化物、碳化物和氟化物中 的至少一种的无机绝缘体，并且所述复合磁性膜的与所述基板表面平行的 表面内的最小各向异性磁场Hk1和所述复合磁性膜的与所述基板的表面 平行的表面的最大各向异性磁场Hk2之比Hk2/Hk1大于1，

其中，所述磁性金属或磁性合金是具有体心立方结构的Fe或Fe合金， 所述复合磁性膜的由表面的X射线衍射得到的起因于衍射晶面(110)、 (200)、(211)、(310)、(222)的衍射峰强度全部相加而得到的强 度I_total和起因于衍射晶面(110)的衍射峰强度I₍₁₁₀₎之比I₍₁₁₀₎/I_total为0.8 以上。

2.根据权利要求1所述的磁性材料，所述柱状体在与所述柱状体的纵 向垂直的截面内具有长轴和短轴，所述柱状体的与所述基板的表面平行的 表面和所述柱状体的与所述短轴垂直的晶面沿{110}面取向。

3.根据权利要求1所述的磁性材料，所述柱状体中，与纵向垂直的截 面的纵横尺寸比为1.2以上的柱状体相对于全部的柱状体占30体积％以 上，所述纵横尺寸比为所述柱状体在所述截面内具有的长轴和短轴的长度 比。

4.根据权利要求1所述的磁性材料，所述复合磁性膜的与所述基板表 面平行的表面内的结晶取向在该表面内各向同性地分散。

5.根据权利要求1所述的磁性材料，所述复合磁性膜的与所述基板的 表面平行的表面的晶面沿{110}面取向。

6.根据权利要求1所述的磁性材料，所述复合磁性膜的与所述基板的 表面平行的表面内的电阻率具有各向异性，其最大电阻率R1与最小电阻 率R2的比率R1/R2为1.2以上。

7.根据权利要求1所述的磁性材料，在所述复合磁性膜中所述多个柱 状体的体积百分率为70％以上。

8.根据权利要求1所述的磁性材料，在所述基板上形成有两层以上的 所述复合磁性膜，在所述基板和所述复合磁性膜的最下层之间形成有薄膜 层，并且在所述复合磁性膜间形成有绝缘体层，所述薄膜层含有选自Ni、 Fe、Cu、Ta、Cr、Co、Zr、Ru、Ti、Hf、W、Au之中的金属、含所述 金属的合金、氧化铝或氧化硅。

9.一种磁性材料，其具备基板和复合磁性膜，所述复合磁性膜具备形 成于所述基板上、纵向朝向相对于所述基板的表面垂直的方向的含有从 Fe、Co和Ni的至少一种中选出的磁性金属或磁性合金的多个柱状体、和 形成于所述柱状体之间的选自金属的氧化物、氮化物、碳化物和氟化物中 的至少一种的无机绝缘体，并具有与所述基板表面平行的表面内的各向异 性磁场Hk1、和与所述基板的表面平行的表面内的相对于所述各向异性磁 场Hk1正交的方向的各向异性磁场Hk2，所述Hk2为40Oe以上，各向异 性磁场之比Hk2/Hk1为3以上，

其中，所述磁性金属或磁性合金是具有体心立方结构的Fe或Fe合金， 所述复合磁性膜的由表面的X射线衍射得到的起因于衍射晶面(110)、 (200)、(211)、(310)、(222)的衍射峰强度全部相加而得到的强 度I_total和起因于衍射晶面(110)的衍射峰强度I₍₁₁₀₎之比I₍₁₁₀₎/I_total为0.8 以上。

10.根据权利要求9所述的磁性材料，所述柱状体在与所述柱状体的 纵向垂直的截面内具有长轴和短轴，所述柱状体的与所述基板的表面平行 的表面和所述柱状体的与所述短轴垂直的晶面沿{110}面取向。