[发明专利]交联性预聚物及其制造方法及用途

说明书

技术领域

本发明涉及交联性预聚物、该交联性预聚物的制造方法、含有该交联性预 聚物的负型感光性组合物及该交联性预聚物的用途。

背景技术

关于主链具有聚芳基醚结构的聚合物，例如在下述专利文献1中提出了使 具有酚性羟基或氟取代芳环和交联性官能团的化合物、氟取代芳香族化合物及 具有3个以上的酚性羟基的化合物缩合，制造主链具有聚芳基醚结构且导入了 交联性官能团的交联性预聚物的方法。

具有防水性·防油性的材料被广泛地用于纳米压印、障壁材料、气体阻挡 膜、光刻胶等用途(例如，参照下述专利文献2)。一般作为其图案形成方法(图 案(凹凸形状)形成方法)，可例示干式刻蚀法、湿式刻蚀法、丝网印刷、喷墨印 刷或利用了材料本身的感光性的光刻法。

本身具有感光性的材料不需要将非感光性材料图案化时所必须的光刻胶， 因此可期待制造工序数的减少及原料利用率的提高等生产性的提高。此外，由 于转变为溶剂的用量可减少等对环境影响小的工序，因此备受注目。

专利文献1：日本专利特开2005-105115号公报

专利文献2：日本专利特开2005-60515号公报

发明的揭示

专利文献1的交联性预聚物所形成的固化物虽然耐热性良好，但因用途的 不同并不能够说具备足够的防油性和防水性。

本发明是鉴于上述情况完成的发明，提供可形成耐热性良好且防油性及防 水性良好的固化物的预聚物及其制造方法及用途。

本发明还提供不采用光刻胶就可方便地形成耐热性良好、防油性和防水性 良好且表面具有凹凸形状的物品的新的负型感光性组合物，采用该负型感光性 组合物制造固化膜的方法，以及该负型感光性组合物的用途。

本发明具有以下技术要点。

1.交联性预聚物，它是主链具有聚芳基醚结构的聚合物，该交联性预聚 物的特征在于，具有交联性官能团，且具有下述通式(I)

R^f-CH₂-O-    ···(I)

表示的侧链，式(I)中，R^f表示碳数3～50的可含有醚结合性氧原子的含氟烷基。

2.上述1记载的交联性预聚物，所述主链具有与芳环结合的氢原子的一 部分或全部被卤原子取代的卤素取代芳环，所述通式(I)表示的侧链与该卤素取 代芳环结合。

3.上述2记载的交联性预聚物，在前体(P21)导入上述通式(I)表示的侧链 而形成，所述前体(P21)由具有交联性官能团及酚性羟基的化合物(Y-1)和具有 交联性官能团及被可与酚性羟基反应的氟原子取代的芳环的化合物(Y-2)的任 一方或双方，与下述通式(1)

表示的含氟芳香族化合物(B)和具有3个以上的酚性羟基的化合物(C)，在脱 氟化氢剂的存在下进行缩合反应而得；式(1)中，n表示0～2的整数，a、b 分别独立地表示0～3的整数，Rf¹及Rf²分别独立地表示碳数8以下的含氟 烷基，Rf¹或Rf²存在多个时，可以互相相同也可互不相同，芳环内的F表 示与该芳环结合的氢原子全部被氟原子取代。

4.上述2记载的交联性预聚物，在前体(P11)导入上述通式(I)表示的侧链 后再导入交联性官能团而形成；所述前体(P11)由上述通式(1)表示的含氟芳香 族化合物(B)和具有3个以上的酚性羟基的化合物(C)，在脱氟化氢剂的存在 下进行缩合反应而得。

5.上述4记载的交联性预聚物，交联性官能团的导入方法是具有交联性 官能团及酚性羟基的化合物(Y-1)和具有交联性官能团及被可与酚性羟基反应 的氟原子取代的芳环的化合物(Y-2)的任一方或双方在脱氟化氢剂的存在下进 行的缩合反应。

6.交联性预聚物的制造方法，该方法的特征在于，使具有交联性官能团 且主链具有被可与酚性羟基反应的卤原子取代的芳环的前体(P2)与下述通式 (II)

R^f-CH₂-OH    ···(II)

表示的醇(Q)在脱氟化氢剂的存在下反应；所述前体(P2)是主链具有聚芳基醚结 构的聚合物；式(II)中，R^f表示碳数3～50的可含有醚结合性氧原子的含氟烷 基。