[发明专利]外层体的剥离方法及剥离装置

说明书

技术领域

本发明涉及外层体的剥离方法以及剥离装置，该外层体的剥离方法将 粘贴于基板上的多层薄膜的外层体从所述基板剥离。

背景技术

例如，在液晶面板用基板、印刷配线用基板、PDP面板用基板中，在 基板表面上粘贴有具有感光材料(感光性树脂)层的感光性片材(感光性 织物)。感光性片材(感光性シ—ト体)在柔韧性塑料支承体上层叠有感光 材料层和保护薄膜。

该种感光性片材在局部或全面剥离保护薄膜后，在玻璃基板或树脂基 板等基板上粘贴感光材料层。接着，从基板剥离支承体，由此得到粘贴有 感光材料层的粘贴基板。

例如，特开2002—234667号公报公开的薄膜的剥离方法及剥离装置， 如图15所示，具备：基板吸附手2，其吸附并移动玻璃基板1；第一箝位 器(clamper)3，其夹持并剥离粘贴于所述玻璃基板1上的薄膜F(外层 体)；气缸4，其使所述第一箝位器3在图15中左右移动；水平导轨5a， 其使该气缸4沿前后方向移动；垂直导轨5b，其使该气缸4沿上下方向移 动；第二箝位器6，其夹持剥离后的所述薄膜F；薄膜推动器7，其将所述 剥离后的所述薄膜F向水平方向推广。

于是，首先将基板吸附手2配置成图15中双点划线所示的水平姿势， 放置玻璃基板1时，该基板吸附手2吸附所述玻璃基板1而立起。

接着，第一箝位器3把持从玻璃基板1向外部突出的薄膜F的一部分， 所述第一箝位器3经由气缸4向任意方向移动。因此，薄膜F从玻璃基板 1的角部剥离。

另外，第一箝位器3在水平导轨5a及垂直导轨5b的引导作用下，沿 箭头方向移动，在从玻璃基板1剥离薄膜F后，该薄膜F被转移到第二箝 位器6。此时，被剥离后的薄膜F经由薄膜推动器7，向水平方向推广， 而叠加收容各薄膜F。

如图16所示，在所述的目前技术中，在从剥离开始到时间T1的期间， 玻璃基板1以速度V1上升，另一方面，第一箝位器3以速度(V2—V1) 下降。由此，薄膜F实质上以速度V2的剥离速度被剥离。

另外，在从时间T1到时间T3的期间，第一箝位器3停止，另一方面， 玻璃基板1以速度V2上升。因此，剥离中维持相对速度V2。

但是，在所述的目前技术中，在薄膜剥离开始时(时间零附近)，由 于玻璃基板1的上升和第一箝位器3的下降而对薄膜F施加有急剧的剥离 开始动作。因此，当对薄膜F尤其是感光性树脂层施加急剧的力时，在该 感光性树脂层上容易发生凝集破坏。而且，有可能感光性树脂层的破损了 的部分变成尘埃附着在基板等上。

另外，对薄膜F，按照具有弯曲部的直线状的剥离速度模式施加有剥 离动作。因此，在薄膜F的剥离作业中，与弯曲部相对应存在有速度急剧 变化的变化点P1、P2及P3。从而，在这些变化点P1、P2及P3，薄膜F 的剥离状态急剧发生变化，在感光性树脂层的表面发生条纹。该问题在保 持加速度或减速度为一定而剥离薄膜F时，也同样发生。

发明内容

本发明为解决这种问题的发明，其目的在于，提供一种外层体的剥离 方法及剥离装置，该外层体的剥离方法能够以简单的工序及构成，将外层 体从基板良好地分离，并且可靠地得到高品质的剥离面。

本发明涉及外层体的剥离方法及剥离装置，该外层体的剥离方法将粘 贴于基板的多层薄膜的外层体从所述基板剥离。

该剥离方法具有：剥离开始工序，通过把持机构把持外层体，使所述 把持机构按照S字曲线的速度模式或加速度模式移动；剥离工序，在所述 剥离开始工序后、到从基板剥离所述外层体整体之前的期间，设定速度、 加速度或减速度变化的变化区域，在所述变化区域内，使所述把持机构按 照弯曲的速度模式、加速度模式或减速度模式移动。

在此，所谓“弯曲的速度模式”是指没有速度的急剧变化点，即没有 弯曲部的速度模式。另外，弯曲的加速度模式及弯曲的减速度模式也同样。

另外，剥离装置具备：基板保持机构，其将所述基板保持为水平姿势； 把持机构，其把持外层体，并将所述外层体从所述基板剥离；移动控制机 构，其在剥离开始时，使所述把持机构按照S字曲线的速度模式或加速度 模式移动，另一方面，在所述剥离开始工序后、到从所述基板剥离所述外 层体整体之前的期间，设定速度、加速度或减速度变化的变化区域，在所 述变化区域内，使所述把持机构按照弯曲的速度模式、加速度模式或减速 度模式移动。