[发明专利]表面检查设备

权利要求书

1.一种表面检查设备，包括：

照明装置，用于利用第一线偏振光来照明其上形成有重复图案的待检查基板的表面；

拾取装置，用于拾取来自所述待检查基板的表面的反射光的图像；以及

图像显示装置，用于显示由所述拾取装置所拾取的图像，

其中，从来自所述待检查基板的表面的反射光中提取第二线偏振光的偏振元件安装在所述待检查基板与所述拾取装置之间，并且所述拾取装置拾取由包含所述第二线偏振光的光所产生的图像，以及

所述偏振元件被设定成使得在垂直于所述第二线偏振光的传播方向的平面中的所述第二线偏振光的振动方向相对于在垂直于所述第一线偏振光的传播方向的平面中的所述第一线偏振光的振动方向倾斜的角度大于0度而小于90度。

2.根据权利要求1所述的表面检查设备，其中所述偏振元件被设定成使得在垂直于所述第二线偏振光的传播方向的平面中的所述第二线偏振光的振动方向相对于在垂直于所述第一线偏振光的传播方向的平面中的所述第一线偏振光的振动方向倾斜的角度等于或大于45度而小于90度。

3.根据权利要求1或2所述的表面检查设备，其中所述偏振元件被设定成使得在垂直于所述第二线偏振光的传播方向的平面中的所述第二线偏振光的振动方向相对于在垂直于所述第一线偏振光的传播方向的平面中的所述第一线偏振光的振动方向倾斜的角度大约为45度。

4.根据权利要求1到3所述的表面检查设备，其中所述拾取装置拾取整个所述重复图案。

5.一种表面检查设备，包括：

照明装置，用于利用第一线偏振光来照明其上形成有重复图案的待检查基板的表面；

拾取装置，用于拾取来自所述待检查基板的表面的反射光的图像；

图像处理装置，用于对由所述拾取装置所拾取的图像执行预定的图像处理并检测所述重复图案的缺陷；以及

图像输出装置，用于输出由所述图像处理装置执行的所述图像处理的结果，

其中，从来自所述待检查基板的表面的反射光中提取第二线偏振光的偏振元件安装在所述待检查基板与所述拾取装置之间，并且所述拾取装置拾取由包含所述第二线偏振光的光所产生的图像，以及

所述偏振元件被设定使得在垂直于所述第二线偏振光的传播方向的平面中的所述第二线偏振光的振动方向相对于在垂直于所述第一线偏振光的传播方向的平面中的所述第一线偏振光的振动方向倾斜的角度大于0度而小于90度。

6.根据权利要求5所述的表面检查设备，其中所述偏振元件被设定使得在垂直于所述第二线偏振光的传播方向的平面中的所述第二线偏振光的振动方向相对于在垂直于所述第一线偏振光的传播方向的平面中的所述第一线偏振光的振动方向倾斜的角度等于或大于45度而小于90度。

7.根据权利要求5或6所述的表面检查设备，其中所述偏振元件被设定成使得在垂直于所述第二线偏振光的传播方向的平面中的所述第二线偏振光的振动方向相对于在垂直于所述第一线偏振光的传播方向的平面中的所述第一线偏振光的振动方向倾斜的角度大约为45度。

8.根据权利要求1到7所述的表面检查设备，进一步包括：

保持装置，用于保持所述待检查基板，使得由所述待检查基板表面处的所述第一线偏振光的振动面的方位和所述重复图案的重复方向形成的角度为预定角度，

其中所述预定角度由所述保持装置设定为大约45度。