[发明专利]红外传感器

权利要求书

1.一种红外传感器，包括：

基板(10A)；

传感器单元(100A)，该传感器单元包括：

热红外感测元件(30A)；

传感器支座(40A)，其由多孔材料制成，并且在该传感器支座上承载所述热红外感测元件；

一对梁(42A)，其由多孔材料制成，用以将所述传感器支座支撑为向上离开所述基板的顶面；和

一对端子焊盘(50A)，其形成在所述基板的顶面上；以及

密封罩(200)，其固定到所述基板，以在所述密封罩与所述基板之间提供用于容置所述传感器单元的气密性密封空间，所述密封罩具有窗口，入射的红外线经过该窗口投射到所述传感器单元的所述热红外感测元件上；

所述热红外感测元件具有一对引线(32A)，各所述引线支撑在各所述梁的顶部上以沿着所述梁延伸，从而与各对应的所述端子焊盘电连接；

其中，所述梁(42A)在与所述传感器支座相同的平面上延伸，并离开所述基板的顶面，以在所述梁上承载各自的引线(32A)；

所述传感器单元还包括一对锚固柱(52A)，各所述锚固柱从各所述端子焊盘(50A)上竖立，并且各所述锚固柱的上端固定到各对应的所述引线(32A)的末端，以使所述感测元件(30A)与所述传感器支座(40A)一起以离开所述基板的顶面的方式支撑在所述基板上，并使所述感测元件经由所述锚固柱电连接到所述端子焊盘(50A)；

各所述锚固柱(52A)的上端嵌入各对应的所述梁中，以使各所述锚固柱的周边被各对应的所述梁(42A)完全包围，

其中各所述锚固柱(52A)均为由金属制成的中空圆柱体，并且均由多孔材料制成的各衬套(46)沿着各所述锚固柱的竖直长度包围。

2.如权利要求1所述的红外传感器，其中

各所述引线(32A)沉积在各对应的所述梁(42A)上；

各所述锚固柱(52A)的上端装配在形成于各对应的所述梁的端部中的孔(44)内；

各所述锚固柱的上端均形成有翼缘(54A)，所述翼缘叠合在围绕所述孔的所述梁上，并连接到各对应的所述引线上。

3.如权利要求2所述的红外传感器，其中

各所述引线(32A)和相关联的锚固柱(52A)共同地由导电材料制成，以便互相连接。

4.如权利要求2所述的红外传感器，其中

各所述锚固柱的所述翼缘(54A)具有与各所述引线(32A)的端部叠合的部分，各所述引线在该部分处与各所述锚固柱结合。

5.如权利要求4所述的红外传感器，其中

各所述锚固柱具有均匀厚度，该厚度大于各所述引线的厚度。

6.如权利要求1所述的红外传感器，其中

所述衬套(46)与所述梁一体形成，以作为所述梁的一个组成部分。

7.如权利要求1所述的红外传感器，其中

所述传感器支座由多孔材料形成，所述多孔材料选自由氧化硅、硅氧烷基有机聚合物以及硅氧烷基无机聚合物构成的群组。

8.如权利要求1所述的红外传感器，其中

所述气密性密封空间被减压。

9.如权利要求1所述的红外传感器，其中

所述传感器单元的阵列共同地排布在所述基板上。

10.如权利要求9所述的红外传感器，其中

所述窗口(202)设置有透镜阵列，在所述透镜阵列中，多个光学透镜(204)排布成阵列，以便将入射的红外线聚焦在任一所述传感器单元的所述红外传感器上。

11.如权利要求10所述的红外传感器，其中

所述透镜阵列与所述密封罩一体地形成，以形成为所述密封罩的一部分。

12.如权利要求10所述的红外传感器，其中

所述透镜阵列叠置在所述窗口上并位于所述密封罩的与所述传感器单元相对的表面上，所述透镜阵列的折射率小于所述窗口的折射率。