[发明专利]液滴涂布装置

权利要求书

1.一种液滴涂布装置，其特征在于，包括：

基座，该基座具有供基板进行载放的载放面；

第一横梁部及第二横梁部，该第一横梁部及第二横梁部与所述载放面相 对，沿所述载放面的一个方向延伸，并且，该第一横梁部及第二横梁部以可沿 所述载放面的另一个方向相对于所述基座相对移动的形态安装在所述基座上， 并沿所述另一个方向排列设置；

多个液滴排出部，该多个液滴排出部以可沿所述一个方向移动的形态安装 在所述第一横梁部及第二横梁部上，并朝所述基板排出液滴进行涂布；以及

至少一个摄像体，该至少一个摄像体配置在所述第一横梁部与所述第二 横梁部之间，安装在所述第一横梁部和所述第二横梁部中的至少一个所述横梁 部上，并对载放在所述载放面上的所述基板进行拍摄，

所述第一横梁部和所述第二横梁部一体地连结而成为一体，在所述另一 个方向上可相对于所述基座相对移动，

所述第一横梁部和所述第二横梁部分别具有安装面和相对面这两者，所述 安装面和所述相对面是平面，沿所述一个方向延伸且彼此朝向所述另一个方 向的相反侧，所述液滴排出部安装在处于所述第一横梁部的与所述第二横 梁部相对的相对面的相反侧的所述第一横梁部的安装面、以及处于所述第 二横梁部的与所述第一横梁部相对的相对面的相反侧的所述第二横梁部的 安装面上，

所述至少一个摄像体安装在所述第一横梁部及所述第二横梁部的所述相 对面中的至少一个相对面上。

2.如权利要求1所述的液滴涂布装置，其特征在于，

所述摄像体包括摄像部，该摄像部对载放在所述载放面上的所述基板 的对准标记进行检测。

3.如权利要求1或2所述的液滴涂布装置，其特征在于，所述摄像体 包括观察相机，该观察相机对所述液滴排出部命中在所述基板上的命中图 像进行观察，

所述观察相机以可沿所述一个方向移动的形态安装在所述第一横梁部 及所述第二横梁部的相对面中的一个相对面上。

4.如权利要求1或2所述的液滴涂布装置，其特征在于，

在所述第一横梁部及所述第二横梁部的所述安装面上安装有多个滑动 机构，所述多个滑动机构使所述多个液滴排出部分别沿所述一个方向移动，

所述多个滑动机构彼此空开间隔地配置，并且，所述多个滑动机构从 所述基座的上表面看在所述一个方向上交错地排列。