[发明专利]附有树脂的网版印刷用掩模的制造方法和附有树脂的网版印刷用掩模

权利要求书

1.附有树脂的网版印刷用掩模的制造方法，所述附有树脂的网版 印刷用掩模在已经具有开口部的网版印刷用掩模一方的主要表面上，设 置在与上述开口部大致相同位置上具有开口部的树脂层而成，所述树脂 层由光交联性树脂或具有加热固化性的树脂构成，该方法的特征在于，

包含如下工序：

在已经具有开口部的网版印刷用掩模一方的主要表面上通过层压 加工来被覆树脂层的工序，

以自对准的方式除去位于与上述网版印刷用掩模的开口部大致相 同位置的上述树脂层的一部分而在树脂层上形成开口部的工序，

其中，以自对准的方式除去树脂层的一部分的工序是如下进行实施 的，通过从与网版印刷用掩模的、设有树脂层的一侧的相反侧的主要表 面供给树脂层除去液，由此除去未曝光的树脂层。

2.如权利要求1所述的附有树脂的网版印刷用掩模的制造方法， 其中，上述具有开口部的网版印刷用掩模选自用叠加法制成的金属掩 模、用激光法制成的金属掩模、用蚀刻法制成的金属掩模、网目掩模、 悬挂掩模和固态掩模中的任何一种。

3.如权利要求1所述的附有树脂的网版印刷用掩模的制造方法， 其中，上述树脂层包含光交联性树脂。

4.如权利要求3所述的附有树脂的网版印刷用掩模的制造方法， 其中，光交联性树脂含有下述成分而成：(A)含有羧基的粘合剂聚合 物、(B)在分子内具有至少1个可聚合的烯键式不饱和基团的光聚合 性化合物和(C)光聚合引发剂。

5.附有树脂的网版印刷用掩模的制造方法，所述附有树脂的网版 印刷用掩模在已经具有开口部的网版印刷用掩模一方的主要表面上，设 置在与上述开口部大致相同位置上具有开口部的树脂层而成，所述树脂 层由光交联性树脂或具有加热固化性的树脂构成，该方法的特征在于，

包含如下工序：

在已经具有开口部的网版印刷用掩模一方的主要表面上通过层压 加工来被覆树脂层的工序，

以自对准的方式除去位于与上述网版印刷用掩模的开口部大致相 同位置的上述树脂层的一部分而在树脂层上形成开口部的工序，

其中，在上述网版印刷用掩模一方的主要表面上被覆树脂层的工序 后，在树脂层上形成开口部的工序前，进而含有在树脂层上形成电沉积 树脂层的工序，

上述电沉积树脂层被覆在除位于与上述网版印刷用掩模的开口部 大致相同位置的树脂层部分以外的树脂层上，

以自对准的方式除去上述树脂层的一部分的工序通过从上述网版 印刷用掩模的、设有树脂层和电沉积树脂层的主要表面侧供给树脂层除 去液来实施。

6.附有树脂的网版印刷用掩模的制造方法，所述附有树脂的网版 印刷用掩模在已经具有开口部的网版印刷用掩模一方的主要表面上，设 置在与上述开口部大致相同位置上具有开口部的树脂层而成，所述树脂 层由光交联性树脂或具有加热固化性的树脂构成，该方法的特征在于，

包含如下工序：

在已经具有开口部的网版印刷用掩模一方的主要表面上通过层压 加工来被覆树脂层的工序，

以自对准的方式除去位于与上述网版印刷用掩模的开口部大致相 同位置的上述树脂层的一部分而在树脂层上形成开口部的工序，

其中，以自对准的方式除去上述树脂层的一部分的工序，通过使位 于与上述网版印刷用掩模的开口部大致相同位置的上述树脂层的一部 分薄膜化后，供给树脂层除去液来实施。

7.如权利要求1、5、6中任一项所述的附有树脂的网版印刷用掩 模的制造方法，其中，树脂层除去液是含有选自碱金属碳酸盐、碱金属 磷酸盐、碱金属氢氧化物和碱金属硅酸盐的至少1种的水溶液。

8.如权利要求1～4中任一项所述的附有树脂的网版印刷用掩模的 制造方法，其中，在得到的附有树脂的网版印刷用掩模中，形成于树脂 层的开口部的面积大于上述网版印刷用掩模的开口部面积。

9.如权利要求5或6所述的附有树脂的网版印刷用掩模的制造方 法，其中，在得到的附有树脂的网版印刷用掩模中，形成于树脂层的开 口部的面积大于上述网版印刷用掩模的开口部面积。