[发明专利]用于制作太阳能电池的等离子沉积设备和方法

权利要求书

1.一种用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，包括：

用于支撑衬底的部件；

用于供应反应物的部件；以及

用于在所述衬底上沉积产物的等离子炬部件，所述等离子体炬部件位于离所述衬底一段距离的位置。

2.如权利要求1所述用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，其中，所述沉积的太阳能电池是硅薄膜太阳能电池。

3.如权利要求1所述用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，其中，所述沉积的太阳能电池是铜铟镓二硒(CIGS)薄膜太阳能电池。

4.如权利要求1所述用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，其中，所述反应物可以是选自由气体、蒸气、气溶胶、小颗粒和粉末组成的组的形式。

5.如权利要求1所述用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，其中，所述等离子形成气体是氩气。

6.如权利要求1所述用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，其中，所述产物是由选自硅烷、氢、甲烷、乙硼烷、三甲基硼、磷化氢及其混合物的气体产生。

7.如权利要求1所述用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，其中，所述产物是从包含选自铜、铟、镓、硒及其混合物组成的组的化学物质的反应物产生。

8.如权利要求1所述用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，其中，所述衬底选自镀氧化锡玻璃和镀钼玻璃组成的组。

9.如权利要求1所述用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，其中，所述等离子炬部件与所述衬底之间的所述距离大约是30-55mm。

10.一种用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，包括：

具有纵轴线的输送机，用于支撑至少一个衬底；

至少两个模块，各自具有用于在所述至少一个衬底上沉积反应产物层的至少一个等离子炬，所述至少一个等离子炬位于离所述至少一个衬底一段距离的位置；

用于容纳所述输送机和所述至少两个模块的室；以及

排气系统。

11.如权利要求10所述用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，其中，所述室还包括：

入口和入口气幕，用于把所述室与所述室外部的环境隔离；以及

出口和出口气幕，用于把所述室与所述室外部的环境隔离。

12.如权利要求11所述用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，其中，所述气幕包括选自由氦、氖、氩及其混合物组成的组的惰性气体。

13.如权利要求10所述用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，其中，所述排气系统还包括：

用于从所述室去除作为副产品的气体和颗粒的排气端口。

14.如权利要求10所述用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，其中，所述排气系统控制所述室内的分压力。

15.如权利要求10所述用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，其中，所述至少一个等离子炬以与所述输送机的所述纵向横向的行布置，用于在所述至少一个衬底上沉积所述反应产物。

16.如权利要求10所述用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，其中，所述输送机受到温度控制以保持所述反应产物在所述至少一个衬底上的最佳沉积温度。

17.如权利要求10所述用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，其中，所述至少一个等离子炬是电感耦合等离子炬。

18.如权利要求10所述用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，其中，所述至少两个模块在所述室内不同位置的所述多个衬底上沉积所述反应产物。

19.如权利要求10所述用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，其中，所述输送机将所述至少一个衬底从所述入口移到所述出口。

20.如权利要求10所述用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，其中，所述输送机相对于所述至少两个模块移动所述至少一个衬底以提供持续的沉积工艺。

21.如权利要求10所述用于制作太阳能电池的等离子沉积设备，其中，所述反应产物包括从所述至少两个模块的不同模块沉积的n型掺杂物和p型掺杂物。