[发明专利]含有具有环结构的高分子化合物的正型感光性树脂组合物有效

专利信息
申请号: 200780021536.X 申请日: 2007-06-13
公开(公告)号: CN101467100A 公开(公告)日: 2009-06-24
发明(设计)人: 畑中真;小林淳平 申请(专利权)人: 日产化学工业株式会社
主分类号: G03F7/039 分类号: G03F7/039;H01L21/027;G03F7/004
代理公司: 北京市中咨律师事务所 代理人: 段承恩;田 欣
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 含有 具有 结构 高分子化合物 感光性 树脂 组合
【权利要求书】:

1.一种正型感光性树脂组合物,含有下述A成分、B成分、C成分、 D成分、E成分和F溶剂,

A 成分是碱溶性丙烯酸聚合物,其具有选自羧基和酚式羟基中的至少一 种、以及选自酚式羟基以外的羟基和具有活性氢的氨基中的至少一种,并 且,其数均分子量为2000~30000;

B 成分是在主链中具有芳香族环或脂环结构的碱溶性树脂,该碱溶性 树脂是数均分子量为2000~30000的聚酰亚胺前体或聚酰亚胺;

C 成分是1分子中具有两个以上的乙烯基醚基的化合物,并且,相对 于合计100质量份的A成分和B成分,C成分为1~80质量份;

D 成分是1分子中具有两个以上的封端异氰酸酯基的、封端部分的热 解离温度为120℃~230℃的化合物,并且,相对于A成分和B成分的合 计100质量份,D成分为1~80质量份;

E 成分是光酸发生剂,并且,相对于A成分和B成分的合计100质量 份,E成分为0.5~80质量份。

2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,B成分是具有被氟 原子取代的烷基的聚酰亚胺前体或聚酰亚胺。

3.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,B成分是聚酰亚胺, 该聚酰亚胺相对于A成分100质量份,含有0.5~20质量份。

4.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,B成分是聚酰亚胺 前体,该聚酰亚胺前体相对于A成分100质量份,含有5~100质量份。

5.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,E成分是通过光照 射而产生磺酸的化合物。

6.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,作为G成分,进 一步含有胺化合物。

7.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,作为H成分,进 一步含有氟类表面活性剂。

8.一种固化膜,是使用权利要求1~7的任一项所述的正型感光性树 脂组合物获得的。

9.一种层间绝缘膜,含有权利要求8所述的固化膜。

10.一种微透镜,含有权利要求8所述的固化膜。

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