[发明专利]含有具有环结构的高分子化合物的正型感光性树脂组合物有效
申请号: | 200780021536.X | 申请日: | 2007-06-13 |
公开(公告)号: | CN101467100A | 公开(公告)日: | 2009-06-24 |
发明(设计)人: | 畑中真;小林淳平 | 申请(专利权)人: | 日产化学工业株式会社 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039;H01L21/027;G03F7/004 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 | 代理人: | 段承恩;田 欣 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 含有 具有 结构 高分子化合物 感光性 树脂 组合 | ||
1.一种正型感光性树脂组合物,含有下述A成分、B成分、C成分、 D成分、E成分和F溶剂,
A 成分是碱溶性丙烯酸聚合物,其具有选自羧基和酚式羟基中的至少一 种、以及选自酚式羟基以外的羟基和具有活性氢的氨基中的至少一种,并 且,其数均分子量为2000~30000;
B 成分是在主链中具有芳香族环或脂环结构的碱溶性树脂,该碱溶性 树脂是数均分子量为2000~30000的聚酰亚胺前体或聚酰亚胺;
C 成分是1分子中具有两个以上的乙烯基醚基的化合物,并且,相对 于合计100质量份的A成分和B成分,C成分为1~80质量份;
D 成分是1分子中具有两个以上的封端异氰酸酯基的、封端部分的热 解离温度为120℃~230℃的化合物,并且,相对于A成分和B成分的合 计100质量份,D成分为1~80质量份;
E 成分是光酸发生剂,并且,相对于A成分和B成分的合计100质量 份,E成分为0.5~80质量份。
2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,B成分是具有被氟 原子取代的烷基的聚酰亚胺前体或聚酰亚胺。
3.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,B成分是聚酰亚胺, 该聚酰亚胺相对于A成分100质量份,含有0.5~20质量份。
4.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,B成分是聚酰亚胺 前体,该聚酰亚胺前体相对于A成分100质量份,含有5~100质量份。
5.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,E成分是通过光照 射而产生磺酸的化合物。
6.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,作为G成分,进 一步含有胺化合物。
7.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,作为H成分,进 一步含有氟类表面活性剂。
8.一种固化膜,是使用权利要求1~7的任一项所述的正型感光性树 脂组合物获得的。
9.一种层间绝缘膜,含有权利要求8所述的固化膜。
10.一种微透镜,含有权利要求8所述的固化膜。
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