[发明专利]电气开关器件及将催化材料嵌入金刚石衬底中的方法

权利要求书

1.一种改变包含至少一层金刚石材料的衬底的方法，所述方法包括：

在所述衬底的金刚石材料的至少预定区域上沉积至少一种催化金属， 所述至少一种催化金属能够使与所述催化金属接触的所述金刚石材料转 化为非金刚石型碳；

使得与所述催化金属的至少一部分接触的所述金刚石材料的至少一 部分转化为非金刚石型碳；以及

使得所述催化金属的至少一部分渗入所述衬底。

2.如权利要求1所述的方法，进一步包括：使得所述金刚石材料的 所述预定区域上的所述催化金属形成分离的催化金属的区域。

3.如权利要求2所述的方法，其中，使得至少一种所述催化金属形 成分离的区域的步骤包括：在存在包含至少一种还原组分的至少一个等离 子体放电的情况下，对所述材料进行加热。

4.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中，通过加热使得与 所述催化金属的至少一部分接触的所述金刚石材料的至少一部分转化为 非金刚石型碳。

5.如权利要求1-3中的任一项所述的方法，进一步包括：在将所述催 化金属沉积在所述衬底上之前，改变所述衬底的表面的至少一部分，以减 少所述催化金属与所述衬底的反应性。

6.如权利要求1-3中的任一项所述的方法，进一步包括：在所述衬底 的表面上形成对金刚石材料的非金刚石型碳损坏的至少一个区域。

7.如权利要求1-3中的任一项所述的方法，其中，通过光刻工艺对至 少一种所述催化金属进行图案化。

8.如权利要求1-3中的任一项所述的方法，其中，在存在直流偏置的 磁场和/或电场的情况下，通过对所述衬底进行加热而使得所述催化金属 的至少一部分渗入所述衬底。

9.如权利要求8所述的方法，其中，通过至少一个等离子体放电而 使得所述催化金属的至少一部分渗入所述衬底。

10.如权利要求9所述的方法，进一步包括：对至少一个所述放电进 行调整。

11.如权利要求1-3中的任一项所述的方法，进一步包括：通过至少 一个等离子体放电来去除非金刚石型碳。

12.一种制造电气器件的方法，所述方法包括：

通过根据前述权利要求中的任一项所述的方法在衬底中形成至少一 个孔；

用导电材料填充至少一个孔；

形成与所述衬底及所填充的孔接触的至少一个第一电极；

形成至少一个第二电极，所述至少一个第二电极与所述衬底接触，并 且与所述第一电极或每个所述第一电极间隔开。