[发明专利]专用探针卡测试系统的设计方法

权利要求书

1.一种对测试系统进行编程以执行集成电路(IC)测试的方法，所述方法包 括：

向探针卡上的存储器提供代码，所述探针卡包括多个探针，所述代码可以被 探针卡上的可编程控制器读取，以便控制从测试系统控制器的通道通过探针向IC 提供测试信号的过程，

其中测试系统控制器的通道与多个探针之间的互连关系是可以通过代码进行 配置的。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述可编程控制器包括现场可编程门阵列(FPGA)，并且所述代码是可读的 以便配置FPGA从而将来自测试系统控制器的各个通道的信号选择性地路由到探针 卡上不同的探针。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，

所述FPGA将来自各个通道的信号选择性地路由到由IC所形成的不同的待测 器件(DUT)。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述代码可以被可编程控制器读取以启动可编程控制器从而产生测试信号并 且将这些测试信号从探针卡施加到IC。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述代码还可以被可编程控制器读取以启动可编程控制器从而处理由探针卡 从IC处接收到的测试信号结果并且将经处理的结果从探针卡提供给用户界面。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，

所述可编程控制器包括下列之中的至少一种：现场可编程门阵列(FPGA)， 数字信号处理器(DSP)，以及微处理器。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述可编程控制器被设置在附接到探针卡的主PCB上的子卡上，所述可编程 控制器以串行方式提供从子卡到主PCB的测试信号，

所述方法还包括：

在主PCB上将从可编程控制器处接收到的测试信号从串行转换成并行；以及

将测试信号分配到探针。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，

代码是从计算机辅助设计(CAD)系统中获得的。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，

探针和IC之间的互连是可以基于CAD进行配置的。

10.如权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述代码包括用于设计测试系统控制器的通道与探针卡的探针之间的互连的 计算机可读介质，

所述方法还包括：

(a)提供一种结构部件单元的单元库，这种单元库包括用于待测IC的IC 部件以及可被包括在探针卡中的部件，这种单元库还包括用于结构部件单元的结构 模型和行为模型，结构模型用于描述相应的结构部件单元的布局；以及

(b)提供具有互连部件单元的单元库，每一个互连部件单元用于在至少一 个结构部件单元和至少另一个结构部件单元之间形成信号路径，其中每一个互连部 件单元包括用于其相应的互连系统部件的结构模型和行为模型。

11.如权利要求10所述的方法，还包括如下步骤：

(c)选择将要被包括在待测IC和探针卡中的结构部件单元，并且选择互 连部件单元；

(d)基于在步骤(c)中所选择的互连部件单元和结构部件单元中的至少 一个之中所包括的行为模型，创建所述待测IC和所述探针卡的行为模型；以及

(e)使用在步骤(d)中所创建的行为模型，来模拟在探针卡和待测IC之 间进行通信时所述待测IC和所述探针卡的行为。

12.如权利要求11所述的方法，还包括如下步骤：

(f)基于探针卡上的可编程部件以及在步骤(c)中所选择的互连部件单 元，来产生探针卡结构模型，以及

(g)根据所述探针卡结构模型，来制造探针卡。