[发明专利]光谱椭偏仪

权利要求书

1.一种在椭偏仪中用于获取待测器件信息的方法，其中，包括以 下步骤：

提供多个入射偏振光束；

将该多个入射偏振光束聚焦在待测器件上的一个点；

收集从该待测器件上反射的多个光束；

检偏所收集到的所述多个光束。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，使用起偏器来提供所 述偏振光束，其中每个光束在一个设定好的偏振角下被起偏，其中， 各起偏器的偏振轴相互平行。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述聚焦步骤中使 用一个抛物面反射器，或一个透镜，或两个透镜。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述收集步骤中使 用一个抛物面反射器，或一个透镜，或两个透镜。

5.如权利要求2所述的方法，其特征在于，采用多个检偏器进行 所述检偏步骤，其中一个检偏器的偏振轴与各起偏器的偏振轴垂直， 其他检偏器的偏振轴与各起偏器的偏振轴平行。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述聚焦步骤、收集 光束步骤和检偏步骤同时进行。

7.一种在椭偏仪中用于获取待测器件的信息的方法，其中，包括 以下步骤：

使用多个起偏器提供多个入射偏振光束，其中每个入射光束在一个 设定好的偏振角下被起偏；

使用一个抛物面反射器将该多个入射偏振光束聚焦在待测器件上的 一个点；

使用一个抛物面反射器收集从该待测器件上反射的多个光束；

使用多个检偏器检偏该收集到的光束，其中，每个检偏器具有一个 设定好的与其相应起偏器相对应的偏振角。

8.一种椭偏仪，包括：

偏振光束提供装置，用于提供多个入射偏振光束；

聚焦装置，用于将该多个入射偏振光束聚焦在待测器件上的一个 点；

收集装置，用于收集从该待测器件上反射的多个光束；

检偏装置，用于检偏所收集到的所述多个光束。

9.如权利要求8所述的椭偏仪，其特征在于，所述偏振光束提供 装置包括起偏器以提供所述偏振光束，其中每个光束在一个设定好的 偏振角下被起偏，其中，各起偏器的偏振轴相互平行。

10.如权利要求8所述的椭偏仪，其特征在于，所述聚焦装置包括 抛物面反射器，或一个透镜，或两个透镜。

11.如权利要求8所述的椭偏仪，其特征在于，所述收集装置包括 抛物面反射器，或一个透镜，或两个透镜。

12.如权利要求9所述的椭偏仪，其特征在于，所述检偏装置包括 多个检偏器，其中一个检偏器的偏振轴与各起偏器的偏振轴垂直，其 他检偏器的偏振轴与各起偏器的偏振轴平行。

13.如权利要求8所述的椭偏仪，其特征在于，聚焦、收集光束和 检偏同时进行。

14.一种椭偏仪，其中，包括：

多个起偏器，用于提供多个入射偏振光束，其中每个入射光束在一 个设定好的偏振角下被起偏；

抛物面反射器，用于将该多个入射偏振光束聚焦在待测器件上的一 个点，并收集从该待测器件上反射的多个光束；

多个检偏器，用于检偏该收集到的光束，其中，每个检偏器具有一 个设定好的与其相应起偏器相对应的偏振角。