[发明专利]用于感应电子束的传感器和系统

权利要求书

1.一种传感器(10，10′)，用于感应由电子束发生器(8，8″)沿对象区域(4，4″)内朝向对象(16，16″)的路径产生的电子束(6，6″)的强度，该电子束(6，6″)通过逸 出窗(24，24′，24″)逸出该发生器(8，8″)，其特征在于该传感器(10，10′)包括位于该路径内并连接到电流检测器(34)的至少一个导电层(28，28′)的至少一个区域(26，26′)，该至少一个导电层(28，28′)的每个所述区域(26，26′)通过防护罩(32，32′)与周围环境和与该逸出窗隔开，并且在位于所述路径内的所述区域(26，26′)多于一个时通过所述防护罩(32，32′)与彼此隔开，所述防护罩(32，32′)形成在该逸出窗(24，24′，24″)上并因此是该逸出窗的集成部分，并且至少所述防护罩的与每个所述区域(26，26′)接触的部分由绝缘材料制成。

2.根据权利要求1所述的传感器(10)，其特征在于所述防护罩(32)包括至少第一和第二绝缘层(32a，32b)，所述第一绝缘层(32a)覆盖至少一部分所述逸出窗(24)并且承载该至少一个导电层(28)的所述至少一个区域(26)，以及所述第二绝缘层(32b)至少覆盖该至少一个导电层(28)的每个区域(26)，从而该区域由绝缘材料密封。

3.根据权利要求1所述的传感器(10′)，其特征在于：其包括至少第一和第二导电层(28′、38)，每个包括至少一个区域(26′)，

所述防护罩(32′)包括至少第一、第二和第三绝缘层(32a′，32b′，32c′)， 

所述第一绝缘层(32a′)覆盖至少部分所述逸出窗(24′)并且承载该第一导电层(28′)的至少一个区域(26′)，

所述第二绝缘层(32b′)至少覆盖该第一导电层(28′)的每个区域(26′)，从而使该区域由绝缘材料密封，

所述第二绝缘层(32b′)承载该第二导电层(38)的至少一个区域(26′)，以及

所述第三绝缘层(32c′)至少覆盖该第二导电层(38)的每个区域(26′)，从而使该区域由绝缘材料密封。

4.根据权利要求3所述的传感器(10′)，其特征在于其包括多个导电层，以及该导电层依次夹在绝缘层之间，以及第一绝缘层(32a′)形成在该逸出窗(24′)上，以及最后的绝缘层覆盖至少最后的导电层以保护其免受周围环境的影响。

5.根据权利要求1-4任一项所述的传感器(10，10′)，其特征在于所述电流检测器(34)适于检测该导电层(28，28′)的所述区域(26，26′)中的电流作为电子束强度的测量值。

6.根据权利要求1-4任一项所述的传感器(10，10′)，其特征在于该传感器使用沉积技术形成在该逸出窗(24，24′，24″)的外部箔(25，25′)上。

7.根据权利要求1-4任一项所述的传感器(10，10′)，其特征在于该绝缘材料是氧化物。

8.根据权利要求1-4任一项所述的传感器(10，10′)，其特征在于该导电层的材料是金属。 

9.根据权利要求1-4任一项所述的传感器(10，10′)，其特征在于该绝缘材料是氧化铝，该导电层的材料是铝和该逸出窗的外部箔(25，25′)由钛制成。

10.根据权利要求1-4任一项所述的传感器(10，10′)，其特征在于该至少一个导电层(28，28′、38)的所述每个区域(26，26′)是跨越该逸出窗(24，24′，24″)设置的带。

11.根据权利要求10所述的传感器(10，10′)，其特征在于其可以包括多个跨越该逸出窗(24，24′，24″)设置的带(26，26′)，在这些带之间设置有间隙(30)。

12.根据权利要求1-4任一项所述的传感器(10，10′)，其特征在于该对象是包装件(16′)。

13.根据权利要求1-4任一项所述的传感器，其特征在于该对象是包装材料卷材(16)。