[发明专利]度量装置

权利要求书

1.一种位置测量装置，其包括推力框架和度量框架，所述推力框架包括通过多个动力驱动的可延伸腿部与一可动平台连接的载荷承载基部，所述度量框架包括一度量基部，其中，所述度量基部通过基部安装装置被连接至所述载荷承载基部，所述基部安装装置被布置成防止所述载荷承载基部的扭曲传递到所述度量基部。

2.根据权利要求1所述的位置测量装置，其特征在于，所述基部安装装置在所述载荷承载基部和所述度量基部之间提供至少三个接触点。

3.根据权利要求1所述的位置测量装置，其特征在于，所述基部安装装置包括运动学支座。

4.根据权利要求1所述的位置测量装置，其特征在于，所述基部安装装置包括至少一个磁体。

5.根据权利要求1所述的位置测量装置，其特征在于，所述度量基部包括多个互连的撑杆。

6.根据权利要求1所述的位置测量装置，其特征在于，所述度量框架的热膨胀系数比所述推力框架的热膨胀系数低。

7.根据权利要求1所述的位置测量装置，其特征在于，所述度量基部通过多个可延伸的测量腿部与一可动度量平台连接，其中，所述度量平台通过平台安装装置与所述可动平台连接，所述平台安装装置被布置成防止所述可动平台的扭曲传递到所述度量平台。

8.根据权利要求7所述的位置测量装置，其特征在于，所述平台安装装置在所述载荷承载平台和所述度量平台之间提供至少三个接触点。

9.根据权利要求8所述的位置测量装置，其特征在于，所述平台安装装置包括运动学支座。

10.根据权利要求7所述的位置测量装置，其特征在于，所述测量腿部的端部通过多个度量接头连接到所述度量基部和所述度量平台上。

11.根据权利要求10所述的位置测量装置，其特征在于，所述度量接头包括球接头。

12.根据权利要求1所述的位置测量装置，其特征在于，所述动力驱动的可延伸腿部的端部通过多个载荷承载接头连接到所述载荷承载基部和所述可动平台上。

13.根据权利要求12所述的位置测量装置，其特征在于，所述载荷承载接头是胡克式接头。

14.根据权利要求10所述的位置测量装置，其特征在于，所述动力驱动的可延伸腿部的端部通过多个载荷承载接头连接到所述载荷承载基部和所述可动平台上，一组合式接头提供度量接头和载荷承载接头。

15.根据权利要求14所述的位置测量装置，其特征在于，所述位置测量装置包括多个组合腿部，每个组合腿部包括度量结构和机械分离的载荷承载结构。

16.根据权利要求1所述的位置测量装置，其特征在于，所述位置测量装置包括与所述载荷承载基部连接的校准装置，其中，所述校准装置可相对于所述载荷承载基部可重复地定位。

17.根据权利要求1所述的位置测量装置，其特征在于，所述位置测量装置包括用于控制所述可延伸的腿部的延伸的控制器。

18.根据权利要求1所述的位置测量装置，其特征在于，所述可动平台具有刚性固定到其上的轴，其中，一测量探头连接到所述轴上。

19.根据权利要求1所述的位置测量装置，其特征在于，所述载荷承载基部包括工件台面。

20.根据权利要求1所述的位置测量装置，其特征在于，所述载荷承载基部包括支撑框架。

21.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的位置测量装置，其特征在于，所述位置测量装置包括三个或者更多动力驱动的可延伸腿部。

22.根据权利要求21所述的位置测量装置，其特征在于，所述位置测量装置包括六个动力驱动的可延伸腿部。