[发明专利]从气流中除氟用的方法和装置无效
申请号: | 200780022578.5 | 申请日: | 2007-05-23 |
公开(公告)号: | CN101472666A | 公开(公告)日: | 2009-07-01 |
发明(设计)人: | A·J·西利 | 申请(专利权)人: | 爱德华兹有限公司 |
主分类号: | B01D53/68 | 分类号: | B01D53/68;B01D53/70;F23G7/06;F23J7/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 刘 锴;韦欣华 |
地址: | 英国西萨*** | 国省代码: | 英国;GB |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气流 方法 装置 | ||
1. 从气流中除去氟化气体的方法,包括下列步骤:将含有氟化气体的气流输送到燃烧区, 在燃烧区中分解氟化气体, 其中该方法还包括以下步骤:使能与氟化气体分解产物反应的钙盐夹带到气流中以与氟化气体分解产物反应形成干的氟化钙,然后从气流中除去干的氟化钙盐,其中钙盐是CaO、CaCO3、Ca(OH)2、石灰、熟石灰和Ca(CH3CH2CO2)2.H2O之一或其混合物。
2. 根据权利要求1的方法,其中氟化气体是分子氟(F2)和全氟化气体之一或其混合物。
3. 根据权利要求2的方法,其中全氟化气体是三氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)、六氟乙烷(C2F6)、四氟化硅(SiF4)、六氟化硫(SF6)之一或其混合物。
4. 根据前述权利要求任一项的方法,其中在燃烧区下游将钙盐夹带到气流中。
5. 根据权利要求1的方法,其中在燃烧区内部将钙盐夹带到气流中。
6. 根据权利要求1的方法,其中在燃烧区上游将钙盐夹带到气流中。
7. 根据权利要求1的方法,其中通过空气吹送粉末技术将钙盐夹带到气流中。
8. 根据权利要求1的方法,其中通过简单喷雾技术将钙盐夹带到气流中。
9. 根据权利要求1的方法,其中通过雾化喷雾技术将钙盐夹带到气流中。
10. 根据权利要求1的方法,其中燃烧区是向内燃烧器的燃烧区。
11. 根据权利要求1的方法,其中燃烧区是电热燃烧器的燃烧区。
12. 根据权利要求1的方法,其中燃烧区是明火燃烧器的燃烧区。
13. 根据权利要求1的方法,其中燃烧区是等离子体反应器的燃烧区。
14. 根据权利要求1的方法,其中通过过滤器、旋风分离器和静电沉淀器之一从气流中除去氟化钙盐。
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