[发明专利]电极结合方法和元件安装装置

权利要求书

1.一种电极结合方法，包括：

等离子体清洁步骤，用大气压等离子体(8)辐射元件(1)和基底(10)中的至少一个的被清洁的电极表面(3)从而进行清洁；

惰性气体氛围保持步骤，在所述大气压等离子体(8)的辐射结束之前，用第一惰性气体(4)覆盖被清洁的所述电极表面(3)及其附近，并在此后还保持该状态；以及

结合步骤，在所述惰性气体氛围保持步骤结束之前，结合所述元件(1)的电极和所述基底(10)上的电极。

2.如权利要求1所述的电极结合方法，其特征在于，在所述等离子体清洁步骤中，通过使用布置在所述辐射大气压等离子体(8)附近的接地电极(15)，从所述等离子体(8)中除去离子电荷，于是，辐射包括基团。

3.如权利要求1所述的电极结合方法，其特征在于，在所述等离子体清洁步骤中，在用所述大气压等离子体(8)辐射之前，用第一惰性气体(4)覆盖被清洁的所述电极表面(3)及其附近，于是，藉由所述第一惰性气体(4)，用所述大气压等离子体(8)中的基团辐射被清洁的所述电极表面(3)。

4.如权利要求1所述的电极结合方法，其特征在于，在所述惰性气体氛围保持步骤中，供应第一惰性气体(4)以使其沿被清洁的所述电极表面(3)流动，并在所述第一惰性气体(4)沿被清洁的所述电极表面(3)流过之后，抽吸走所述第一惰性气体(4)。

5.一种元件安装装置，用于将元件(1)加载在基底(10)上并结合所述基底(10)的电极和所述元件(1)的电极，所述装置包括：

基底定位装置(9、42)，用于将所述基底(10)定位至预定位置；

元件供应单元(26)，用于供应所述元件(1)；

元件加载装置(25)，用于从所述元件供应单元(26)中拾取所述元件(1)，转移所述元件，将所述元件加载在所述基底(10)上，并结合所述基底(10)的电极和所述元件(1)的电极；

大气压等离子体辐射装置(7、28、37)，用于用大气压等离子体(8)辐射所述基底(10)和所述元件(1)中的至少一个的所述电极；

惰性气体供应装置(5、30、33)，用于供应第一惰性气体(4)，以使被所述大气压等离子体(8)辐射的所述电极表面被所述第一惰性气体(4)覆盖；以及

控制单元(51)，用于控制所述基底定位装置(42)、所述元件供应单元(26)、所述元件加载装置(25)、所述大气压等离子体辐射装置(7、28、37)、以及所述惰性气体供应装置(5、30、33)，其中，

所述控制单元(51)执行控制，以在用所述大气压等离子体(8)辐射所述电极表面结束之前致动所述惰性气体供应装置(5、30、33)，并在结合所述基底(10)和所述元件(1)的所述电极时，使被所述大气压等离子体(8)辐射的所述电极表面保持被所述第一惰性气体(4)覆盖。

6.如权利要求5所述的元件安装装置，其特征在于，所述第一惰性气体(4)的排出端口(34)和吸入端口(35)布置成使所述第一惰性气体(4)沿着被大气压等离子体(8)辐射的所述电极表面(3)流动。

7.如权利要求5所述的元件安装装置，其特征在于，所述惰性气体供应装置(5、30、33)供应99％或更高纯度的氮气以作为所述第一惰性气体(4)，所述氮气通过PSA(变压吸附)型或薄膜分离型的氮气发生器直接从空气中获得。

8.如权利要求5所述的元件安装装置，其特征在于，所述惰性气体供应装置(5、30、33)布置在所述元件加载装置(25)上，而所述大气压等离子体辐射装置(7)布置在所述元件加载装置(25)的可移动范围之内的所述元件供应单元(26)或所述基底定位装置(9、42)附近。

9.如权利要求5所述的元件安装装置，其特征在于，所述惰性气体供应装置(5、30、33)布置在所述基底定位装置(9、42)上，而所述大气压等离子体辐射装置(7)布置在所述元件加载装置(25)上。