[发明专利]基于表面声波的压力传感器预载的后期组装自动调节

权利要求书

1.一种调节压力监控封装件(10)的预载的方法，包括在被密封的所述封装件(10)的外表面产生至少一个标记(21-28，31-38)以使所述封装件(10)的预载频率移动的步骤，其中产生标记的步骤是使用激光来产生塑性形变小区。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述标记是使用激光焊机产生的。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述标记被施加到所述封装件(10)的罩盖(7)的表面(15)和所述封装件(10)的所述罩盖(7)的边缘(16)中的至少一个。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述至少一个标记(21-28，31-38)的直径、位置和穿透深度被改变，由此改变所产生的最终频移。

5.根据权利要求1所述的方法，其中每个标记是斑点。

6.根据权利要求1所述的方法，其中每个标记是连续线。

7.一种制造压力监控封装件(10)的方法，包括以下步骤：

将多个SAW谐振器(2，3，4)安装到衬底(1)上；

将所述衬底(1)安装在封装件基座(11)中；

机械地将所述封装件基座(11)约束在机械预载夹具内；

使用所述机械预载夹具调节所述封装件(10)的预载，同时测量所述SAW谐振器(2，3，4)的频率，直到得到所需频率；

将罩盖(7)焊接到所述封装件基座(11)；

然后通过在所述封装件(10)的外表面上产生标记(21-28，31-38)来微调所述封装件(10)的预载频率，其中产生标记的步骤是使用激光来产生塑性形变小区。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述标记是使用激光焊机产生的。

9.根据权利要求7所述的方法，其中所述标记被施加到所述封装件(10)的罩盖(7)的表面(15)和所述封装件(10)的所述罩盖(7)的边缘(16)中的至少一个。

10.根据权利要求7所述的方法，其中所述标记(21-28，31-38)的直径、位置和穿透深度被改变，由此改变所产生的最终频移。

11.根据权利要求7所述的方法，其中每个标记是斑点。

12.根据权利要求7所述的方法，其中每个标记是连续线。

13.一种压力监控封装件(10)，包括多个SAW谐振器(2，3，4)和罩盖(7)，所述谐振器被安装到衬底(1)上，衬底(1)被安装在封装件基座(11)中，所述罩盖(7)被焊接到所述封装件基座(11)上，所述封装件(10)的外表面具有产生于其上的标记，以微调所述封装件(10)的预载频率，其中所述标记是使用激光产生的塑性形变小区。

14.根据权利要求13所述的压力监控封装件(10)，其中所述标记产生于所述封装件(10)的所述罩盖(7)的表面(15)和所述封装件(10)的所述罩盖(7)的边缘(16)中的至少一个上。